纳米压入技术中基底和针尖效应的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·纳米压痕技术的起源 | 第13页 |
| ·压入接触理论基础 | 第13-16页 |
| ·弹性接触理论 | 第13-15页 |
| ·弹塑性接触理论 | 第15-16页 |
| ·纳米压痕技术测量原理 | 第16-22页 |
| ·Oliver和Pharr方法 | 第17-19页 |
| ·Hainsworth方法 | 第19-20页 |
| ·应变梯度塑性理论 | 第20-22页 |
| ·纳米压痕技术的发展和应用 | 第22-29页 |
| ·纳米压痕技术的发展 | 第22-23页 |
| ·纳米压痕技术的应用 | 第23-29页 |
| ·纳米压痕仪器工作模式及影响因素 | 第29-31页 |
| ·工作模式 | 第29-31页 |
| ·压入模式 | 第29-30页 |
| ·划入模式 | 第30页 |
| ·磨损模式 | 第30-31页 |
| ·影响因素 | 第31页 |
| ·论文工作及内容安排 | 第31-33页 |
| 第二章 纳米压入测试中基底效应的分析 | 第33-65页 |
| ·研究背景 | 第33-35页 |
| ·基底效应及其影响 | 第33-34页 |
| ·基底效应的研究意义及研究现状 | 第34-35页 |
| ·基底效应的理论现状 | 第35-44页 |
| ·关于硬度计算的理论模型 | 第35-41页 |
| ·关于弹性模量计算的理论模型 | 第41-44页 |
| ·基底效应的有限元分析 | 第44-63页 |
| ·有限元模型 | 第46-50页 |
| ·几种常用压头的介绍 | 第46-47页 |
| ·模型的描述 | 第47-50页 |
| ·计算结果与讨论 | 第50-63页 |
| ·模拟与实验结果的对比 | 第50-51页 |
| ·压入过程中膜和基底的弹塑性变形 | 第51-54页 |
| ·软膜/硬基体系中接触深度的讨论 | 第54-57页 |
| ·硬膜/软基体系中临界深度的确定 | 第57-60页 |
| ·关于硬度的计算结果的分析 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第三章 纳米压入测试中针尖效应的分析 | 第65-83页 |
| ·纳米压入中针尖缺陷及其研究意义 | 第65-71页 |
| ·针尖缺陷及其影响 | 第65-67页 |
| ·针尖效应的研究意义及研究现状 | 第67-71页 |
| ·关于针尖效应的理论推导 | 第71-73页 |
| ·针尖效应的有限元分析 | 第73-82页 |
| ·模型的描述 | 第73-75页 |
| ·模拟分析的结果及讨论 | 第75-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第四章 氧化锌薄膜纳米压入实验研究 | 第83-93页 |
| ·氧化锌薄膜力学性能研究的意义及现状 | 第83-84页 |
| ·薄膜的制备 | 第84页 |
| ·氧化锌薄膜的力学性能检测 | 第84-91页 |
| ·硬度和弹性模量检测 | 第84-87页 |
| ·退火温度对膜的力学性能的影响 | 第87-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第五章 总结与展望 | 第93-96页 |
| ·工作总结 | 第93-94页 |
| ·论文的创新之处 | 第94-95页 |
| ·工作展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第110页 |
