| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-24页 |
| ·ITO透明导电薄膜的结构与特性 | 第10-11页 |
| ·ITO薄膜的结构 | 第10-11页 |
| ·ITO薄膜的特性 | 第11页 |
| ·ITO透明导电薄膜的电学、光学性能 | 第11-16页 |
| ·ITO薄膜的电学性能 | 第11-14页 |
| ·ITO薄膜的光学性能 | 第14-16页 |
| ·ITO透明导电薄膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·磁控溅射(MS)法 | 第17页 |
| ·化学气相沉积(CVD)法 | 第17-18页 |
| ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 | 第18页 |
| ·喷雾热分解(SP)法 | 第18-19页 |
| ·分子束外延(MBE)法 | 第19页 |
| ·活性反应蒸镀(ARE)法 | 第19页 |
| ·电子束蒸发(EB)技术 | 第19-20页 |
| ·ITO透明导电薄膜的应用 | 第20-21页 |
| ·平面显示领域 | 第20页 |
| ·热辐射反射镜、防护镜及微波屏蔽 | 第20页 |
| ·太阳能电池 | 第20-21页 |
| ·气敏元件 | 第21页 |
| 参考文献 | 第21-24页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及后续热处理 | 第24-29页 |
| ·实验的背景和意义 | 第24页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的实验原理 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的基本组分的选定 | 第25-26页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ITO薄膜过程以及后续热处理 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-29页 |
| 第三章 ITO薄膜的结构、形貌以及电学、光学性能的表征 | 第29-46页 |
| ·ITO薄膜结构的表征 | 第29-34页 |
| ·ITO薄膜结构的测定方法 | 第29-30页 |
| ·ITO薄膜结构的分析 | 第30-34页 |
| ·ITO薄膜形貌的表征 | 第34-38页 |
| ·ITO薄膜形貌的测定方法 | 第34页 |
| ·ITO薄膜形貌的分析 | 第34-38页 |
| ·ITO薄膜电学、光学性能的分析原理和表征 | 第38-43页 |
| ·ITO薄膜电学性能的分析原理和表征 | 第38页 |
| ·ITO薄膜光学性能的分析原理和表征 | 第38-39页 |
| ·ITO薄膜电学、光学性能的结果及其分析 | 第39-43页 |
| ·不同旋涂层数对ITO薄膜电学、光学性能的影响 | 第39-41页 |
| ·不同热处理时间对ITO薄膜电学、光学性能的影响 | 第41-42页 |
| ·不同Sn~(4+)掺杂量对ITO薄膜电学、光学性能的影响 | 第42-43页 |
| ·不同In~(3+)溶胶浓度对ITO薄膜电学、光学性能的影响 | 第43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第四章 温度-湿度处理对ITO薄膜电学、光学性能的影响 | 第46-55页 |
| ·实验的背景和意义 | 第46页 |
| ·实验的具体过程 | 第46页 |
| ·测试方法 | 第46-47页 |
| ·实验的结果及其分析 | 第47-53页 |
| ·实验现象的解释 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-57页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
