电化学腐蚀多孔硅光致发光特性研究

中文摘要	第1-5页
英文摘要	第5-9页
1 引言	第9-26页
·多孔硅的研究历史	第9页
·多孔硅的制备方法	第9-13页
·电化学阳极氧化法	第9-11页
·湿法化学腐蚀法	第11页
·光辐射辅助化学腐蚀法	第11-12页
·火花腐蚀法	第12页
·水热腐蚀法	第12页
·脉冲腐蚀法	第12-13页
·多孔硅的后处理方法	第13-14页
·快速热、氧化处理法	第13-14页
·金属钝化处理	第14页
·多孔硅的结构	第14-19页
·多孔硅孔隙度的概念	第15-16页
·制备参数对多孔硅结构的影响	第16-19页
·多孔硅的形成机理	第19-20页
·多孔硅的发光机理	第20-24页
·光致发光	第21-23页
·电致发光	第23-24页
·本论文研究目的及主要内容	第24页
·本章小结	第24-26页
2 样品制备与测试表征技术	第26-34页
·样品的制备	第26页
·单晶硅的清洗	第26页
·样品的制备	第26页
·样品测试表征	第26-33页
·扫描电子显微镜（SEM）	第26-27页
·原子力显微镜（AFM）	第27-29页
·傅立叶红外光谱仪（FTIR）	第29-30页
·光致发光（PL）	第30-31页
·光致发光激发光谱（PLE）	第31-33页
·本章小结	第33-34页
3 测试结果与性能分析	第34-45页
·实验设备	第34-35页
·实验装置	第34页
·金属Al 电极的制备	第34-35页
·实验结果分析	第35-43页
·腐蚀电流密度对多孔硅发光特性的影响	第35-39页
·腐蚀时间对多孔硅发光特性的影响	第39-41页
·老化时间对多孔硅发光特性的影响	第41-42页
·电解液浓度对多孔硅发光特性的影响	第42-43页
·本章小结	第43-45页
4 结语与展望	第45-47页
·本论文研究得到的主要结论	第45-46页
·关于PS 材料研究的下一步工作和展望	第46-47页
参考文献	第47-51页
致谢	第51-52页
攻读学位期间取得的科研成果清单	第52页