| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1 章 绪论 | 第10-16页 |
| ·微机电系统概述 | 第10-12页 |
| ·微机电系统的构成和工作机理 | 第12-13页 |
| ·MEMS 典型器件和系统 | 第13-14页 |
| ·微机电系统中的机电耦合和动力学问题 | 第14-15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-16页 |
| 第2 章 微板机电耦合自由振动分析 | 第16-48页 |
| ·微板机电耦合模型的建立及受力分析 | 第16-19页 |
| ·微板机电耦合模型的建立 | 第16-18页 |
| ·机电耦合微板受力分析 | 第18-19页 |
| ·四边简支微板机电耦合自由振动 | 第19-22页 |
| ·静态位移求解 | 第19-21页 |
| ·动态位移求解 | 第21-22页 |
| ·对边简支对边固定微板机电耦合自由振动 | 第22-27页 |
| ·静态位移求解 | 第22-25页 |
| ·动态位移求解 | 第25-27页 |
| ·三边简支一边自由微板机电耦合自由振动 | 第27-29页 |
| ·静态位移求解 | 第27-28页 |
| ·动态位移求解 | 第28-29页 |
| ·结果分析 | 第29-47页 |
| ·四边简支微板 | 第29-35页 |
| ·对边简支对边固定微板 | 第35-41页 |
| ·三边简支一边自由微板 | 第41-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3 章 微板机电耦合受迫振动分析 | 第48-94页 |
| ·四边简支微板机电耦合受迫振动 | 第48-53页 |
| ·简谐电压激励 | 第48-50页 |
| ·简谐外载荷激励 | 第50-51页 |
| ·简谐电压和简谐外载荷共同激励 | 第51-53页 |
| ·对边简支对边固定微板机电耦合受迫振动分析 | 第53-56页 |
| ·简谐电压激励 | 第53-54页 |
| ·简谐外载荷激励 | 第54-55页 |
| ·简谐电压和简谐外载荷共同激励 | 第55-56页 |
| ·三边简支一边自由微板机电耦合受迫振动 | 第56-57页 |
| ·结果分析 | 第57-93页 |
| ·简谐电压激励下的强迫响应分析 | 第57-64页 |
| ·简谐电压和简谐外载荷共同作用下的微板动态响应分析 | 第64-88页 |
| ·简谐电压激励下的共振分析 | 第88-91页 |
| ·简谐电压和简谐外载荷共同激励下的共振分析 | 第91-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第4 章 仿生扑翼飞行器机电耦合动力学分析 | 第94-112页 |
| ·扑翼飞行器研究的背景及现状 | 第94-96页 |
| ·静态位移响应求解 | 第96-99页 |
| ·动态位移求解 | 第99-103页 |
| ·极板刚性振动求解 | 第99页 |
| ·极板柔性振动求解 | 第99-103页 |
| ·结果分析 | 第103-109页 |
| ·静态位移分析 | 第103-106页 |
| ·频率分析 | 第106页 |
| ·模态分析 | 第106-107页 |
| ·影响因素分析 | 第107-109页 |
| ·参数优化设计 | 第109-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第5 章 微板系统动力学仿真 | 第112-120页 |
| ·ANSYS 软件简介 | 第112页 |
| ·动力学仿真 | 第112-117页 |
| ·结果分析 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 结论 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-125页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 作者简介 | 第127页 |