光刻机精密气浮工件台的振动特性分析及运动控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·光刻机的国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·光刻机精密工件台的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·精密工件台振动分析的研究现状 | 第14-15页 |
| ·精密工件台控制系统的研究现状 | 第15-16页 |
| ·本课题的来源 | 第16-17页 |
| ·本文主要工作 | 第17-18页 |
| 2 精密气浮工件台的系统结构 | 第18-26页 |
| ·光刻机的运动结构 | 第18-19页 |
| ·光刻机精密气浮工件台的功能 | 第19-20页 |
| ·光刻机精密气浮工件台的结构 | 第20-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 3 精密气浮工件台的有限元建模及振动特性分析 | 第26-44页 |
| ·有限元建模理论 | 第26-30页 |
| ·精密工件台的有限元建模 | 第30-36页 |
| ·精密工件台振动仿真结果及分析 | 第36-39页 |
| ·精密气浮工件台试验模态 | 第39-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 4 精密气浮工件台的控制建模及其轨迹规划 | 第44-64页 |
| ·精密气浮工件台的控制建模 | 第45-50页 |
| ·精密气浮工件台的轨迹规划 | 第50-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 5 精密气浮工件台的控制策略及仿真结果 | 第64-76页 |
| ·精密气浮工件台驱动电机的坐标转换 | 第64-68页 |
| ·精密气浮工件台的控制策略 | 第68-71页 |
| ·精密气浮工件台的控制仿真结果 | 第71-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| 6 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·全文总结 | 第76-77页 |
| ·研究展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录 作者攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第82页 |
