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相位调制型激光自混合干涉测量微纳米技术的研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-8页
第一章 绪论第8-24页
   ·激光自混合干涉技术的兴起及发展第8-11页
   ·激光自混合干涉技术各国研究现状第11-14页
   ·激光自混合干涉应用研究进展第14-21页
     ·位移测量第14-19页
     ·绝对距离测量第19-21页
   ·课题来源第21页
   ·本文研究意义及主要研究内容第21-24页
第二章 激光自混合干涉效应基本理论及实验研究第24-41页
   ·前言第24页
   ·激光自混合干涉系统理论模型第24-27页
   ·激光自混合干涉仿真分析第27-29页
   ·激光自混合干涉现象的定性观察第29-30页
   ·激光自混合干涉现象的定量观察第30-40页
     ·实验装置第30-38页
     ·实验结果第38-40页
   ·本章小结第40-41页
第三章 基于线性相位调制的 He-Ne 激光自混合干涉测量微位移研究第41-58页
   ·前言第41-42页
   ·时域载波相移技术解调相位原理第42-44页
   ·微位移测量数值模拟及精度分析第44-47页
   ·实验结果第47-57页
     ·实验光路第47-49页
     ·电光调制系统第49-51页
     ·数据采集部分第51-53页
     ·实验结果第53-57页
   ·本章小结第57-58页
第四章 基于四象限积分技术的正弦相位调制半导体激光自混合干涉测量微位移研究第58-70页
   ·前言第58页
   ·四象限积分技术解调相位原理第58-61页
   ·微位移测量的数值模拟及精度分析第61-64页
   ·实验结果第64-69页
     ·实验装置第64-66页
     ·实验结果第66-69页
   ·本章小结第69-70页
第五章 基于 FFT 分析方法的正弦相位调制半导体激光自混合干涉测量微位移研究第70-89页
   ·前言第70页
   ·FFT 分析方法解调相位原理第70-75页
   ·微位移测量数值模拟及精度分析第75-79页
   ·实验结果第79-88页
     ·实验数据处理第79-80页
     ·实验结果第80-85页
     ·虚拟仪器面板设计第85-88页
   ·本章小结第88-89页
第六章 基于双正弦调制技术的半导体激光自混合干涉测距系统的研究第89-101页
   ·前言第89页
   ·双调制技术测距原理第89-93页
   ·半导体激光器参数 k 的确定第93-95页
   ·实验结果第95-100页
     ·实验装置第96-97页
     ·实验数据处理第97-98页
     ·实验结果第98-100页
   ·本章小结第100-101页
第七章 结束语第101-103页
附录第103-106页
参考文献第106-113页
在学期间发表论文和参加的工作第113-115页
致谢第115页

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