Sol-Gel法制备ZAO薄膜及其红外发射率研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| ·前言 | 第9-11页 |
| ·ZAO薄膜概述 | 第11-20页 |
| ·ZAO薄膜的特性 | 第11-13页 |
| ·ZAO薄膜的应用 | 第13-14页 |
| ·ZAO薄膜的研究现状 | 第14-17页 |
| ·ZAO薄膜的制备方法 | 第17-20页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第20-25页 |
| ·定义 | 第20页 |
| ·溶胶—凝胶法发展过程简介 | 第20-22页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜的常用方法 | 第22页 |
| ·溶胶—凝胶法原理 | 第22-23页 |
| ·影响溶胶—凝胶工艺的因素 | 第23-25页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第25-26页 |
| 第二章 ZAO薄膜的制备及研究方法 | 第26-33页 |
| ·ZAO薄膜的制备工艺过程 | 第26-31页 |
| ·溶胶的制备 | 第26-28页 |
| ·衬底的预处理 | 第28-29页 |
| ·成膜 | 第29-30页 |
| ·浸渍涂覆成膜过程 | 第30页 |
| ·溶胶膜的干燥 | 第30页 |
| ·干凝胶膜的热处理 | 第30-31页 |
| ·附着 | 第31页 |
| ·实验设备 | 第31-33页 |
| ·衬底清洗设备 | 第31页 |
| ·镀膜设备 | 第31页 |
| ·热处理设备 | 第31-32页 |
| ·薄膜样品检测仪器 | 第32-33页 |
| 第三章 薄膜的结构分析及形貌观察 | 第33-49页 |
| ·薄膜厚度对薄膜表面形貌的影响 | 第33-34页 |
| ·涂敷溶胶浓度和次数对薄膜厚度的影响 | 第34-35页 |
| ·石英玻璃衬底表面状态对薄膜表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| ·热处理时间对薄膜表面形貌的影响 | 第36-37页 |
| ·热处理对薄膜组成的影响 | 第37-44页 |
| ·薄膜相组成 | 第37-41页 |
| ·热处理对薄膜X—射线衍射特征的影响 | 第41页 |
| ·薄膜厚度对X—射线衍射特征的影响 | 第41-44页 |
| ·烘干温度对薄膜结构的影响 | 第44页 |
| ·铝掺杂量对薄膜显微结构的影响 | 第44-45页 |
| ·热处理温度对薄膜显微结构的影响 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 工艺参数对ZAO薄膜红外发射率的影响 | 第49-62页 |
| ·以异丙醇为有机溶剂制备ZAO薄膜 | 第49-56页 |
| ·溶胶浓度对ZAO薄膜性能的影响 | 第49-52页 |
| ·铝掺杂浓度对ZAO薄膜红外发射率的影响 | 第52-54页 |
| ·热处理温度对ZAO薄膜发射率的影响 | 第54-56页 |
| ·以乙二醇甲醚为有机溶剂制备ZAO薄膜 | 第56-58页 |
| ·溶胶浓度对薄膜红外发射率的影响 | 第56-57页 |
| ·膜厚对薄膜红外发射率的影响 | 第57-58页 |
| ·薄膜红外性能分析 | 第58-60页 |
| ·铝掺杂浓度对红外发射率的影响 | 第59页 |
| ·薄膜厚度对发射率的影响 | 第59-60页 |
| ·热处理温度对薄膜发射率的影响 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
