| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-18页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·ZnO 薄膜的Al 掺杂 | 第10-14页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·实验研究得目的和意义 | 第17-18页 |
| 第二章 实验方法及过程 | 第18-29页 |
| ·溅射镀膜装置 | 第18页 |
| ·实验材料 | 第18-20页 |
| ·衬底的预处理 | 第20-21页 |
| ·实验参数及过程 | 第21-22页 |
| ·样品分析及方法 | 第22-29页 |
| 第三章 薄膜的制备与结果分析 | 第29-46页 |
| ·ZnO 薄膜的制备与分析 | 第29-33页 |
| ·掺Al 的ZnO 薄膜（AZO）的制备与分析 | 第33-44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 第四章 薄膜的光电性能分析 | 第46-55页 |
| ·薄膜的光学性能分析 | 第46-50页 |
| ·薄膜电学性能分析 | 第50-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 作者攻读硕士期间取得的成果 | 第60-61页 |
| 个人简介 | 第61-62页 |