溅射离子泵DC-DC特种高压电源的设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·氢钟电源的结构 | 第8-9页 |
| ·溅射离子泵电源的现状 | 第9-12页 |
| ·电阻分压式电源 | 第9-10页 |
| ·漏磁变压器式电源 | 第10-12页 |
| ·高频开关式离子泵电源 | 第12-13页 |
| ·本文的研究内容和意义 | 第13-14页 |
| ·本文的研究内容 | 第13页 |
| ·本文的主要意义 | 第13-14页 |
| 第2章 溅射离子泵的工作原理及泵电源的特殊性 | 第14-24页 |
| ·溅射离子泵的结构及工作原理 | 第14-19页 |
| ·溅射离子泵的结构 | 第14-15页 |
| ·溅射离子泵的抽气机理 | 第15-16页 |
| ·离子泵的极限压强 | 第16-17页 |
| ·离子泵的抽速 | 第17-18页 |
| ·真空度与电流的关系 | 第18-19页 |
| ·常见的电源输出特性 | 第19-20页 |
| ·离子泵电源的特殊性 | 第20-22页 |
| ·离子泵电源设计框图 | 第22-24页 |
| 第3章 溅射离子泵负阻性开关电源的研制 | 第24-65页 |
| ·常用隔离式DC/DC开关电源的拓扑结构 | 第24-27页 |
| ·单端反激变换器 | 第25页 |
| ·单端正激变换器 | 第25-26页 |
| ·双晶正激变换器 | 第26页 |
| ·半桥变换器 | 第26页 |
| ·全桥变换器 | 第26页 |
| ·推挽变换器 | 第26-27页 |
| ·推挽变换器的工作原理 | 第27-29页 |
| ·偏磁的可能性及预防措施 | 第29-32页 |
| ·电源主控芯片TL494(PWM)简介 | 第32-34页 |
| ·TL494的特性 | 第32页 |
| ·工作原理概述 | 第32-34页 |
| ·溅射离子泵电源功率主电路的设计 | 第34-53页 |
| ·变压器的设计 | 第35-37页 |
| ·开关驱动电路及缓冲电路的设计 | 第37-42页 |
| ·输出滤波器的设计 | 第42-45页 |
| ·输入滤波器的设计 | 第45-51页 |
| ·高压电路的安全规范设计 | 第51-53页 |
| ·溅射离子泵电源控制电路的设计 | 第53-65页 |
| ·线性光耦电路的设计 | 第53-56页 |
| ·反馈环路稳定性设计 | 第56-63页 |
| ·软启动和过压过流保护电路的设计 | 第63-65页 |
| 第4章 实验结果及比较 | 第65-76页 |
| ·实测数据 | 第65-72页 |
| ·24V输入时的实测输出特性 | 第65-68页 |
| ·不同输入电压下的输出特性 | 第68-69页 |
| ·兼容性测试 | 第69-72页 |
| ·电源的实际使用 | 第72页 |
| ·与其它两种电源的比较 | 第72-76页 |
| ·输出特性比较 | 第72-74页 |
| ·输出纹波比较 | 第74-76页 |
| 第5章 总结和展望 | 第76-81页 |
| ·存在的问题 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-81页 |
| 附录 A 电路原理图和电源实物图 | 第81-84页 |
| 附录 B 个人简历及发表论文 | 第84页 |
