| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第8-12页 |
| ·MEMS 技术起源与发展 | 第8-9页 |
| ·RF MEMS 技术起源与RF MEMS 开关 | 第9-10页 |
| ·RF MEMS 开关优缺点 | 第10-12页 |
| ·国内外发展状况以及经验 | 第12-14页 |
| ·国内外MEMS 商业发展状况 | 第12-13页 |
| ·国内外MEMS 发展经验及反思 | 第13-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 RF MEMS 开关重要理论分析 | 第15-23页 |
| ·RF MEMS 开关种类与特点介绍 | 第15页 |
| ·RF MEMS 并联电容式开关原理 | 第15-18页 |
| ·RF MEMS 开关下拉效应（Pull-in）分析 | 第18-21页 |
| ·下拉效应（Pull-in effect）现象及产生原因 | 第18-19页 |
| ·平衡位置的求解 | 第19-21页 |
| ·RF MEMS 电容式开关的自激励现象与失效机理 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 RF MEMS 开关设计及机电性能仿真 | 第23-62页 |
| ·RF MEMS 开关重要性能指标及典型参数范围 | 第23-27页 |
| ·RF MEMS 开关主要性能指标 | 第23-25页 |
| ·RF MEMS 电容式开关典型参数范围 | 第25-27页 |
| ·RF MEMS 电容开关设计及其机电特性分析 | 第27-61页 |
| ·X 波段五位数字移相器设计 | 第27-29页 |
| ·第一种 RF MEMS 电容式开关设计及机电分析 | 第29-48页 |
| ·第一种 RF MEMS 电容式开关设计结果 | 第48-49页 |
| ·第二种 RF MEMS 电容式开关设计及机电分析 | 第49-60页 |
| ·第二种 RF MEMS 电容式开关设计结果 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 RF MEMS 开关等效电路模型推导及开关设计中应用 | 第62-82页 |
| ·F-V，F-I 类比方法推导MEMS 电容式并联开关等效电路 | 第62-66页 |
| ·机电类比法理念介绍 | 第62-63页 |
| ·F-V 类比方法推导RF MEMS 开关等效电路模型 | 第63-66页 |
| ·RF MEMS 开关等效电路中元件参数的求解 | 第66-70页 |
| ·RF MEMS 开关电路模型整体分析 | 第66-67页 |
| ·RF MEMS 开关等效电路模型参数的数学计算方法 | 第67-69页 |
| ·RF MEMS 电容式开关RCL 模型参数与S 参数的关系 | 第69-70页 |
| ·开关RCL 等效电路模型器件参数的求取与分析 | 第70-77页 |
| ·开关设计参数及共面波导（CPW）设置 | 第70-71页 |
| ·等效电路在up 态时的参数值 | 第71-72页 |
| ·等效电路在down 态时的参数值 | 第72-77页 |
| ·等效电路模型在开关设计中应用 | 第77-80页 |
| ·等效电路模型分析MEMS 开关梁宽度变化对开关插损的影响 | 第77-79页 |
| ·等效电路模型分析MEMS 开关间隙变化对开关插损的影响 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第五章 RF MEMS 电容式开关测试方案 | 第82-86页 |
| ·RF MEMS 电容式开关测试方案设计 | 第82-83页 |
| ·RF MEMS 开关可靠性 | 第83-84页 |
| ·RF MEMS 开关设计指标与实际指标偏差的原因分析 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第六章 本论文的工作总结 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 附录 | 第91-92页 |
