基于电子散斑干涉的形貌测量研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·概述 | 第10页 |
| ·物体三维形貌测量的分类 | 第10-17页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 电子散斑干涉技术 | 第18-36页 |
| ·激光散斑现象及其分类 | 第18-19页 |
| ·光学测量的基本构成 | 第19页 |
| ·散斑干涉原理 | 第19-24页 |
| ·相位变化与位移矢量的关系 | 第22-23页 |
| ·典型实验光路下的光波相位与位移矢量关系 | 第23-24页 |
| ·相位的提取与展开 | 第24-34页 |
| ·相移法 | 第24-32页 |
| ·实现相移的装置 | 第25-26页 |
| ·相移原理 | 第26-27页 |
| ·相移算法 | 第27-32页 |
| ·傅里叶变换法 | 第32-34页 |
| ·相位展开 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 电子散斑形貌测量技术 | 第36-46页 |
| ·双波长散斑干涉技术 | 第36-38页 |
| ·偏转物体法 | 第38-45页 |
| ·偏转物体的散斑载频调制形貌测量的原理 | 第38-40页 |
| ·傅立叶变换法解调 | 第40-42页 |
| ·四步相移法解调 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 对新型大剪切棱镜的研究 | 第46-52页 |
| ·大剪切电子散斑测量的基本原理 | 第46-47页 |
| ·新型大剪切棱镜的制作原理 | 第47-49页 |
| ·平移新型大剪切棱镜的相移原理 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 基于新型棱镜的形貌测量干涉的实验 | 第52-60页 |
| ·四步相移实验 | 第52-56页 |
| ·实验的发现与改进 | 第55-56页 |
| ·傅里叶变换实验 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
