MEMS固体微推进器的设计与制备
| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·微机电系统概述 | 第13-14页 |
| ·微机电系统（MEMS）的基本概念及特点 | 第13-14页 |
| ·MEMS的应用及发展前景 | 第14页 |
| ·微推进系统概述 | 第14-19页 |
| ·基本术语 | 第14-15页 |
| ·微推进系统的研究背景 | 第15-16页 |
| ·微推进系统的种类及特点 | 第16-19页 |
| ·MEMS固体微推进器的研究现状 | 第19-22页 |
| ·国外研究现状 | 第19-21页 |
| ·国内研究现状 | 第21-22页 |
| ·论文研究的内容及意义 | 第22-23页 |
| 第二章 整体研究方案与相关实验工艺介绍 | 第23-31页 |
| ·整体研究方案 | 第23-24页 |
| ·仪器设备与原材料 | 第24-25页 |
| ·仪器设备 | 第24页 |
| ·原材料 | 第24-25页 |
| ·相关实验工艺介绍 | 第25-30页 |
| ·光刻 | 第25-27页 |
| ·磁控溅射 | 第27-28页 |
| ·ICP干法刻蚀 | 第28-29页 |
| ·硅的各向异性湿法腐蚀 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 喷管与燃烧室的制备 | 第31-42页 |
| ·喷管的制备 | 第31-38页 |
| ·喷管的结构设计 | 第31-32页 |
| ·掩膜版及对准装置的设计 | 第32-33页 |
| ·喷管的制备工艺 | 第33-38页 |
| ·燃烧室的制备 | 第38-41页 |
| ·燃烧室材料介绍 | 第39-40页 |
| ·燃烧室的制备 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 点火电路的制备与研究 | 第42-64页 |
| ·国内外几种点火电阻的特性分析 | 第42-44页 |
| ·点火电路的研究路线 | 第44-45页 |
| ·Cr薄膜电阻的制备与薄膜电阻率的测定 | 第45-48页 |
| ·Cr薄膜电阻的制备工艺 | 第45-46页 |
| ·Cr薄膜电阻率的测定 | 第46-48页 |
| ·点火电路基片材料的确定 | 第48-54页 |
| ·硅片上点火电阻的通电试验 | 第48-50页 |
| ·微晶玻璃片上点火电阻的通电试验 | 第50-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| ·点火电路的制备 | 第54-59页 |
| ·点火电路的设计 | 第54-56页 |
| ·点火电路的制备工艺 | 第56-58页 |
| ·实际点火电路的阻值测量 | 第58-59页 |
| ·点火电阻发热特性的ANSYS有限元仿真 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 微推力测试 | 第64-74页 |
| ·推进剂的选择 | 第64-66页 |
| ·微推进器的组装 | 第66-67页 |
| ·微推力测试 | 第67-71页 |
| ·推力测试方法及原理 | 第67-68页 |
| ·推力测试结果 | 第68-71页 |
| ·微推力的理论计算 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 结论与展望 | 第74-77页 |
| ·结论 | 第74页 |
| ·展望 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第82页 |
