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掺杂ZnO薄膜及ZnO基异质结发光器件研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-9页
1 引言第9-27页
   ·ZnO材料的基本特性第9-10页
   ·ZnO材料的研究进展第10-27页
2 ZnO薄膜制备方法及表征手段第27-39页
   ·ZnO薄膜制备方法第27-30页
   ·ZnO薄膜表征手段第30-39页
3 Mn掺杂ZnO稀磁半导体薄膜的制备与物性研究第39-59页
   ·Mn单掺杂ZnO薄膜的制备及物性研究第40-49页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的制备第40-41页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的组分和结构第41-42页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的光学特性第42-46页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的磁学特性第46-49页
   ·(Mn,N)共掺杂ZnO薄膜的制备及物性研究第49-55页
     ·ZnO∶(Mn,N)薄膜的制备第49-50页
     ·ZnO∶(Mn,N)薄膜组分和结构第50-52页
     ·ZnO∶(Mn,N)薄膜的电学性质第52页
     ·ZnO∶(Mn,N)薄膜的室温铁磁性及其铁磁耦合机制第52-55页
   ·小结第55-59页
4 F掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与物性研究第59-75页
   ·ZnO∶F薄膜的制备第59-60页
   ·ZnO∶F薄膜的结构和组分第60-62页
   ·ZnO∶F薄膜的电学性质及电子输运机制第62-68页
   ·ZnO∶F薄膜的光学性质及F钝化效应第68-71页
   ·小结第71-75页
5 ZnO/GaN异质结发光器件研究第75-88页
   ·p-GaN/n-ZnO和p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结器件的制备第77-79页
   ·p-GaN/n-ZnO异质结器件的电学及电致发光性质第79-82页
   ·p-GaN/n-ZnO异质结能带结构分析第82-83页
   ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结器件的电学及电致发光性质第83-86页
   ·小结第86-88页
6 结论第88-89页
作者简介第89页
攻读博士学位期间承担的主要工作及结果第89-91页
致谢第91-92页

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