Ag+、Li+与Al3+共掺杂ZnO薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-32页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·ZnO透明导电薄膜 | 第10-23页 |
| ·透明导电氧化物薄膜概述 | 第10-12页 |
| ·ZnO和AZO的晶体结构 | 第12-15页 |
| ·ZnO薄膜制备 | 第15-18页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第18-21页 |
| ·ZnO薄膜的研究热点 | 第21-22页 |
| ·ZnO薄膜的掺杂研究 | 第22-23页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第23-30页 |
| ·溶胶—凝胶工艺特点与发展轨迹 | 第23-24页 |
| ·溶胶凝胶法的基本原理和过程 | 第24-25页 |
| ·溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的机理 | 第25-27页 |
| ·溶胶凝胶法制备薄膜的常用方法 | 第27-29页 |
| ·薄膜干燥、预处理及退火处理 | 第29-30页 |
| ·问题的提出及本文研究的内容 | 第30-32页 |
| ·问题的提出 | 第30页 |
| ·本文研究的内容 | 第30-32页 |
| 第二章 实验与研究方法 | 第32-43页 |
| ·溶胶凝胶法制备ZnO薄膜试剂及仪器设备 | 第32-36页 |
| ·试剂 | 第32-33页 |
| ·衬底的处理 | 第33页 |
| ·实验方案 | 第33-36页 |
| ·实验方法 | 第36页 |
| ·用分液漏斗试管提拉制备ZnO薄膜 | 第36页 |
| ·采用烧杯输液管提拉制备ZnO薄膜 | 第36页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第36-37页 |
| ·实验仪器和分析设备 | 第37-38页 |
| ·薄膜结构和性能的检测 | 第38-43页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第38-39页 |
| ·金相显微镜分析 | 第39页 |
| ·扫描电子显微镜分析与结果(SEM) | 第39页 |
| ·X射线能谱分析(EDS) | 第39-40页 |
| ·紫外分光光度计测量 | 第40-42页 |
| ·薄膜电阻率测定 | 第42-43页 |
| 第三章 实验结果与分析讨论 | 第43-64页 |
| ·ZnO:(Ag,Al)薄膜的结构与性能分析 | 第43-51页 |
| ·掺杂离子浓度对薄膜结构的影响 | 第44-45页 |
| ·提拉次数对薄膜结构的影响 | 第45-46页 |
| ·掺杂离子浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第46-48页 |
| ·提拉次数对薄膜表面形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·掺杂离子浓度对薄膜光学性能的影响 | 第49-50页 |
| ·提拉次数对薄膜光学性能的影响 | 第50-51页 |
| ·ZnO:(Li,Al)薄膜的结构与光电性能分析 | 第51-64页 |
| ·XRD图谱分析 | 第51-54页 |
| ·SEM分析 | 第54-57页 |
| ·光学性能分析 | 第57-60页 |
| ·薄膜导电性分析 | 第60-62页 |
| ·薄膜能谱分析 | 第62-64页 |
| 第四章 结论 | 第64-67页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·存在的问题以及以后的研究方向 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录 作者在攻读学位期间发表的学术论文 | 第71页 |
