Fe/Ti纳米多层薄膜的结构及其退火行为研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·金属纳米多层薄膜 | 第7-10页 |
| ·金属纳米多层薄膜结构与性能 | 第7-9页 |
| ·金属纳米多层薄膜制备 | 第9-10页 |
| ·金属纳米多层薄膜的稳定性 | 第10-13页 |
| ·界面稳定性 | 第11页 |
| ·真空退火过程中的固相反应 | 第11-13页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜 | 第13-14页 |
| ·本论文研究目的及研究内容 | 第14-15页 |
| 本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 Fe/Ti纳米多层薄膜制备技术及分析方法 | 第16-28页 |
| ·双室高真空多功能磁控溅射装置 | 第16-18页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜制备技术 | 第18-22页 |
| ·工艺流程 | 第18-20页 |
| ·工艺参数 | 第20-22页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜真空退火 | 第22页 |
| ·分析方法 | 第22-27页 |
| ·小角/广角x射线衍射 | 第22-23页 |
| ·Rutherford背散射 | 第23-24页 |
| ·差示扫描量热分析 | 第24-26页 |
| ·透射电子显微镜 | 第26-27页 |
| 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 Fe/Ti纳米多层薄膜的结构 | 第28-40页 |
| ·调制周期 | 第28-32页 |
| ·小角x射线分析 | 第28-30页 |
| ·Rutherford背散射分析 | 第30-32页 |
| ·晶体结构与微结构 | 第32-39页 |
| ·不同调制周期 | 第32-35页 |
| ·不同择优取向 | 第35-39页 |
| ·讨论 | 第39页 |
| 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 Fe/ Ti纳米多层薄膜的退火行为 | 第40-57页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜退火过程的热效应 | 第40-42页 |
| ·Fe/ Ti纳米多层薄膜退火过程的结构演变 | 第42-52页 |
| ·小角x射线分析 | 第43页 |
| ·广角x射线分析 | 第43-52页 |
| ·Fe/ Ti纳米多层薄膜退火过程的微结构演变 | 第52-55页 |
| ·讨论 | 第55-56页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜退火过程的动力学 | 第55页 |
| ·Fe/ Ti纳米多层薄膜退火行为的影响因素 | 第55-56页 |
| 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
