类金刚石薄膜光学特性测量与参数反演
| 创新性声明 | 第1页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第2-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·研究目的和意义 | 第7-9页 |
| ·研究现状 | 第9-15页 |
| ·类金刚石薄膜研究进展 | 第9-10页 |
| ·薄膜参数测量方法 | 第10-13页 |
| ·薄膜表面的光散射问题 | 第13-14页 |
| ·薄膜参数反演的进展 | 第14页 |
| ·粒子群算法的进展 | 第14-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 薄膜光学基本理论 | 第17-31页 |
| ·分层介质极化反射率的理论推导 | 第17-24页 |
| ·矩阵法推导极化反射率的理论简述 | 第17-20页 |
| ·极化反射率的递推法推导 | 第20-24页 |
| ·K-K关系 | 第24-26页 |
| ·光学模型 | 第26-29页 |
| ·经典模型 | 第26-28页 |
| ·经验模型 | 第28-29页 |
| 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 薄膜光学参数的测量 | 第31-43页 |
| ·薄膜光学常数的测量 | 第31-37页 |
| ·测量仪器与结果 | 第37-41页 |
| 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 粒子群算法PSO | 第43-57页 |
| ·引言 | 第43-45页 |
| ·粒子群算法基本原理 | 第45-46页 |
| ·粒子群算法数学描述 | 第46-49页 |
| ·粒子群算法的改进 | 第49-53页 |
| ·收敛速度的改进 | 第49-51页 |
| ·增加多样性的改进 | 第51-52页 |
| ·全局方法 | 第52-53页 |
| ·动态目标函数 | 第53页 |
| ·粒子群算法与遗传算法的比较 | 第53-54页 |
| ·数值计算 | 第54-55页 |
| 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 薄膜参数反演 | 第57-89页 |
| ·反演概述 | 第57-59页 |
| ·最优化简介 | 第59-62页 |
| ·薄膜参数反演 | 第62-87页 |
| ·类金刚石薄膜特征描述 | 第63页 |
| ·样品制备 | 第63-65页 |
| ·样品特征检测 | 第65-66页 |
| ·薄膜光学常数反演 | 第66-87页 |
| 本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 薄膜表面BRDF | 第89-104页 |
| ·BRDF模型概述 | 第89-90页 |
| ·薄膜表面微粗糙度光散射 | 第90-93页 |
| ·标量散射理论 | 第90-91页 |
| ·矢量散射理论 | 第91-93页 |
| ·薄膜表面微粗糙度的计算方法及测量 | 第93-95页 |
| ·表面粗糙度均方根及相关长度的计算方法 | 第93-94页 |
| ·计算实例 | 第94-95页 |
| ·粒子群算法在薄膜表面BRDF模型优化中的应用 | 第95-102页 |
| ·实验测量 | 第95-97页 |
| ·不同样片BRDF优化建模 | 第97-102页 |
| 本章小结 | 第102-104页 |
| 结束语 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 作者攻读硕士期间发表的论文 | 第118页 |
