| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·问题的提出及研究意义 | 第9-10页 |
| ·问题的提出 | 第9页 |
| ·研究的意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·高光学性能紫外薄膜的研究 | 第11-13页 |
| ·高阈值紫外薄膜的研究 | 第13-16页 |
| ·本文研究的目的和研究内容 | 第16-17页 |
| ·本文研究的目的 | 第16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 2 实验表征手段 | 第17-25页 |
| ·薄膜沉积方法(电子束蒸发) | 第17-19页 |
| ·电子束蒸发装置 | 第17页 |
| ·电子束蒸发工作原理 | 第17-19页 |
| ·扫描电子显微镜(SCANNING ELECTRONIC MICROSCOPY) | 第19-20页 |
| ·相移干涉仪 | 第20-21页 |
| ·WYKO 表面轮廓仪(RST PLUS) | 第21-22页 |
| ·分光光度计 | 第22-23页 |
| ·损伤阈值测试装置 | 第23-25页 |
| ·损伤阈值的定义 | 第23页 |
| ·实验装置 | 第23-25页 |
| 3 激光辐照下紫外金属/介质高反射薄膜的温度场效应 | 第25-35页 |
| ·温度场理论 | 第25-26页 |
| ·温度场计算程序 | 第26页 |
| ·计算 | 第26-27页 |
| ·结果与讨论 | 第27-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 紫外金属高反射膜的研究 | 第35-43页 |
| ·实验 | 第35页 |
| ·金属高反射膜的生长情况 | 第35-36页 |
| ·粗糙度的影响 | 第36-37页 |
| ·水分对金属高反射薄膜光谱的影响 | 第37-38页 |
| ·测量入射角不同金属高反射薄膜光谱会漂移 | 第38-39页 |
| ·金属高反射薄膜应力与薄膜的损伤形貌 | 第39-42页 |
| ·应力计算理论 | 第39-41页 |
| ·金属高反射薄膜的损伤形貌 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 单层介质膜的研究 | 第43-48页 |
| ·实验 | 第43页 |
| ·薄膜光学常数测试 | 第43-45页 |
| ·极值法计算薄膜的折射率 | 第43-44页 |
| ·极值法计算薄膜的消光系数 | 第44-45页 |
| ·水分对介质薄膜光谱的影响 | 第45-46页 |
| ·薄膜的阈值及损伤形貌 | 第46-47页 |
| ·薄膜的阈值测试结果 | 第46-47页 |
| ·损伤形貌 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 6 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·主要工作总结 | 第48页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间作者发表的论文及得奖情况 | 第57-58页 |
| 附录2 温度场方程的具体解法 | 第58-63页 |
| 独创性声明 | 第63页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第63页 |