中频差双频激光干涉测量系统的初步研究
| 第一章 引 言 | 第1-18页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外双频激光干涉仪发展现状 | 第9-16页 |
| ·美国Agilent(原HP)公司 | 第9-12页 |
| ·机械部成都工具所 | 第12-13页 |
| ·美国ZYGO公司 | 第13-14页 |
| ·英国Renishaw公司 | 第14-15页 |
| ·中国普锐科创公司 | 第15-16页 |
| ·论文的工作目标 | 第16-18页 |
| 第二章 中频差双频激光干涉测量系统工作原理 | 第18-26页 |
| ·塞曼-双折射双频激光器 | 第18-20页 |
| ·塞曼-双折射双频激光器结构及原理 | 第18-19页 |
| ·塞曼-双折射双频激光器的稳频 | 第19-20页 |
| ·基本光学原理 | 第20-23页 |
| ·拍频原理 | 第20-21页 |
| ·多普勒效应 | 第21-22页 |
| ·偏振现象 | 第22-23页 |
| ·双频激光干涉仪测量原理 | 第23-26页 |
| 第三章 中频差双频激光干涉测量系统光学及机械设计 | 第26-34页 |
| ·中频差双频激光干涉测量系统光路分析 | 第26-28页 |
| ·用半波片调制线偏振光的实验及结果 | 第28-29页 |
| ·光学元件选购及机械部件设计 | 第29-31页 |
| ·系统光路的现象分析及装调 | 第31-34页 |
| ·现象分析 | 第31-32页 |
| ·装调步骤 | 第32-34页 |
| 第四章 中频差外差干涉信号处理方法研究 | 第34-58页 |
| ·外差信号处理方法综述 | 第34-39页 |
| ·中频差外差干涉信号处理 | 第39-55页 |
| ·光电转换及前置放大处理 | 第39-44页 |
| ·大数对减法 | 第44-48页 |
| ·对顶错位脉冲消除法 | 第48-55页 |
| ·PC104数据采集及计算 | 第55-58页 |
| ·数据采集 | 第55-56页 |
| ·数据计算 | 第56-58页 |
| 第五章 实验结果及讨论 | 第58-64页 |
| ·前置放大处理结果 | 第58页 |
| ·频移现象观察 | 第58-59页 |
| ·对顶错位脉冲消除结果 | 第59-60页 |
| ·计数器结果及分析 | 第60-64页 |
| 第六章 论文工作总结与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 附录1系统机械零件设计图 | 第70-73页 |
| 附录2 CPLD器件编程主要程序(VHDL) | 第73-76页 |
| 附录3 PC104数据采掘及运算程序(C) | 第76-79页 |
| 个人简历、攻读学位期间发表的学术论文 | 第79页 |
