| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1．1 选题的意义和应用前景 | 第10-11页 |
| 1．2 厚度测量的一般方法 | 第11-12页 |
| 1．3 电荷耦合器件的发展状况 | 第12-13页 |
| 1．4 光电式测厚仪的国内外发展状况 | 第13-14页 |
| 1．5 选题的理论依据 | 第14-15页 |
| 1．6 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 测量系统的原理 | 第16-36页 |
| 2．1 概述 | 第16-17页 |
| 2．2 光学三角法基本原理 | 第17-20页 |
| 2．2．1 直射式三角法原理 | 第17-19页 |
| 2．2．2 斜射式三角法原理 | 第19-20页 |
| 2．3 CCD的基本结构和工作原理 | 第20-34页 |
| 2．3．1 CCD概述 | 第20页 |
| 2．3．2 电荷存储 | 第20-23页 |
| 2．3．3 电荷耦合 | 第23-25页 |
| 2．3．4 电荷的注入和检测 | 第25-28页 |
| 2．3．5 CCD的基本特性参数 | 第28-34页 |
| 2．4 CCD应用 | 第34页 |
| 2．5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 光学系统的设计 | 第36-44页 |
| 3．1 光源的选择 | 第36-38页 |
| 3．1．1 氦氖激光器的结构 | 第36页 |
| 3．1．2 氦氖激光器的特点 | 第36-38页 |
| 3．2 精度和放大倍数的设定 | 第38-39页 |
| 3．3 CCD的选用 | 第39-40页 |
| 3．4 聚焦及成像系统的设计 | 第40-43页 |
| 3．4．1 光路结构 | 第40-41页 |
| 3．4．2 透镜的选择 | 第41-42页 |
| 3．4．3 成像物镜的焦距和数值孔径 | 第42页 |
| 3．4．4 孔径光阑的口径 | 第42-43页 |
| 3．5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 CCD驱动及视频信号处理电路的设计 | 第44-68页 |
| 4．1 线阵CCD时序脉冲电路产生的方法 | 第44-46页 |
| 4．1．1 通用数字电路驱动方法 | 第44页 |
| 4．1．2 EPROM驱动方法 | 第44-45页 |
| 4．1．3 单片机驱动方法 | 第45页 |
| 4．1．4 专用IC驱动方法 | 第45-46页 |
| 4．2 CPLD技术的特点 | 第46-48页 |
| 4．2．1 可编程逻辑器件（PLD）概述 | 第46-47页 |
| 4．2．2 MAX+PLUSII的设计流程 | 第47-48页 |
| 4．3 TCD1501C的时序脉冲驱动电路设计 | 第48-55页 |
| 4．3．1 驱动电路的设计原则 | 第48-49页 |
| 4．3．2 TCD1501C工作参数的设计 | 第49-50页 |
| 4．3．3 TCD1501C脉冲产生电路设计 | 第50-54页 |
| 4．3．4 可调光积分电路的设计 | 第54页 |
| 4．3．5 TCD1501C的驱动接口电路 | 第54-55页 |
| 4．4 CCD视频信号处理电路的设计 | 第55-67页 |
| 4．4．1 前置放大电路 | 第57-58页 |
| 4．4．2 视频放大电路 | 第58-59页 |
| 4．4．3 低通滤波电路 | 第59-62页 |
| 4．4．4 二值化处理电路 | 第62-64页 |
| 4．4．5 计数电路 | 第64-67页 |
| 4．5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 单片机电路及系统软件设计 | 第68-81页 |
| 5．1 硬件电路 | 第68-73页 |
| 5．1．1 计数电路 | 第70-71页 |
| 5．1．2 监控电路 | 第71页 |
| 5．1．3 数码管显示 | 第71-72页 |
| 5．1．4 数据通信接口 | 第72-73页 |
| 5．2 软件设计 | 第73-80页 |
| 5．2．1 主程序 | 第73-75页 |
| 5．2．2 计数 | 第75页 |
| 5．2．3 数据运算 | 第75-77页 |
| 5．2．4 数据显示 | 第77-78页 |
| 5．2．5 键盘控制 | 第78页 |
| 5．2．6 数据传输 | 第78-80页 |
| 5．3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第6章 实验及误差分析 | 第81-89页 |
| 6．1 TCD1501C时序脉冲驱动电路调试 | 第81-85页 |
| 6．1．1 TCD1501C时序脉冲产生电路的软件实现 | 第81-83页 |
| 6．1．2 驱动接口电路调试 | 第83-84页 |
| 6．1．3 延迟分析 | 第84-85页 |
| 6．2 TCD1501C视频信号处理电路 | 第85-86页 |
| 6．2．1 前置放大电路 | 第85页 |
| 6．2．2 视频放大电路 | 第85页 |
| 6．2．3 低通滤波电路 | 第85-86页 |
| 6．3 系统的误差分析 | 第86-88页 |
| 6．3．1 原理误差 | 第86-87页 |
| 6．3．2 光源的影响 | 第87页 |
| 6．3．3 光电转换器件（CCD）的影响 | 第87-88页 |
| 6．3．4 外界环境条件的影响 | 第88页 |
| 6．4 本章小结 | 第88-89页 |
| 结论 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 作者简介 | 第97页 |