| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 综述 | 第10-19页 |
| ·直线度测量的国内外研究现状 | 第10-17页 |
| ·无直线基准测量 | 第10-12页 |
| ·有直线基准测量 | 第12-17页 |
| ·论文的研究内容及组织结构 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 激光外差干涉直线度及其位置测量系统及非线性误差分析 | 第19-61页 |
| ·激光外差干涉直线度及其位置测量系统组成 | 第19页 |
| ·激光外差干涉直线度及其位置测量系统工作原理 | 第19-20页 |
| ·渥拉斯顿棱镜之后光路分析 | 第20-22页 |
| ·渥拉斯顿棱镜之前光路分析 | 第22-23页 |
| ·非线性误差分析基本方法和理论 | 第23-27页 |
| ·误差分析 | 第27-47页 |
| ·波长固有频差对干涉系统引入的直线度误差 | 第27-29页 |
| ·检偏器存在角度偏差 | 第29-41页 |
| ·偏振分光镜引入的误差 | 第41-47页 |
| ·直角棱镜的对测量光路的影响 | 第47-51页 |
| ·渥拉斯顿棱镜安装误差和屋脊双面反射棱镜安装误差引入的误差分析 | 第51-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第三章 信号处理系统的研制 | 第61-77页 |
| ·干涉系统的信号处理系统 | 第61-64页 |
| ·双向差动触发器型鉴相法 | 第61-63页 |
| ·延时信号的数据处理方法 | 第63-64页 |
| ·空气折射率的测量方法 | 第64-66页 |
| ·空气折射率的计算修正公式 | 第64-65页 |
| ·传感器的选择 | 第65-66页 |
| ·系统的信号处理方法及实现 | 第66-75页 |
| ·控制模块 | 第67页 |
| ·延时模块 | 第67-68页 |
| ·小数计数 | 第68-69页 |
| ·大数模块 | 第69-70页 |
| ·数据处理顶层模块 | 第70-72页 |
| ·环境参数采集硬件模块 | 第72-73页 |
| ·环境参数采集的 FPGA 模块设计 | 第73-75页 |
| ·硬件实物图 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 实验验证 | 第77-89页 |
| ·实验及结果分析 | 第77-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 总结与展望 | 第89-91页 |
| ·总结 | 第89页 |
| ·展望 | 第89-91页 |
| 第六章 参考文献 | 第91-96页 |
| 附录一 | 第96-99页 |
| 附录二 | 第99-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第106页 |