叉指式微加速度计的耦合场分析
| 第一章 引言 | 第1-11页 |
| 1．1 研究的意义和研究动态 | 第8-10页 |
| 1．2 研究的内容和方法 | 第10-11页 |
| 第二章 叉指式微加速度计工作原理 | 第11-17页 |
| 2．1 加速度计原理 | 第11-12页 |
| 2．2 叉指式微加速度计的工作原理 | 第12-17页 |
| 2．2．1 检测 | 第13-15页 |
| 2．2．2 力反馈 | 第15-17页 |
| 第三章 耦合场分析程序设计 | 第17-27页 |
| 3．1 ANSYS在微加速度计分析时的应用 | 第17-20页 |
| 3．1．1 有限元素法（FEM） | 第17-18页 |
| 3．1．2 结构静态分析时的有限元法 | 第18-20页 |
| 3．1．3 ANSYS | 第20页 |
| 3．2 基本假设及简化处理 | 第20-21页 |
| 3．3 耦合场分析程序 | 第21-25页 |
| 3．3．1 三维有限元分析方法 | 第22-23页 |
| 3．3．2 耦合场分析程序 | 第23-25页 |
| 3．4 实体建模及建立耦合场分析的物理环境 | 第25-27页 |
| 第四章 静电场分析 | 第27-37页 |
| 4．1 静电场的有限元法分析 | 第27-29页 |
| 4．1．1 静电场的基本概念和基本方程 | 第27-28页 |
| 4．1．2 求解过程 | 第28-29页 |
| 4．2 建立模型 | 第29-30页 |
| 4．3 叉指的结构参数 | 第30-35页 |
| 4．3．1 电容间隙d_a | 第30-31页 |
| 4．3．2 电容间隙d_b | 第31-32页 |
| 4．3．3 极板尺寸 | 第32-35页 |
| 4．4 有限元分析结果图 | 第35-37页 |
| 第五章 刚度及模态分析 | 第37-48页 |
| 5．1 模态分析理论 | 第37-41页 |
| 5．1．1 模态—频率分析 | 第37-38页 |
| 5．1．2 单点相应谱分析 | 第38-41页 |
| 5．2 模态分析及响应谱分析 | 第41-48页 |
| 5．2．1 模态频率和模态刚度 | 第41-44页 |
| 5．2．2 响应谱分析 | 第44-48页 |
| 第六章 微加速度计的输出电压 | 第48-52页 |
| 6．1 结构参数的确定 | 第48-49页 |
| 6．2 计算结果 | 第49-52页 |
| 6．2．1 静态输入输出特性 | 第49-50页 |
| 6．2．2 灵敏度分析 | 第50-52页 |
| 第七章 总结与展望 | 第52-55页 |
| 7．1 设计小结 | 第52-53页 |
| 7．2 今后工作的展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录一 模态分析程序 | 第58-60页 |
| 附录一 耦合场分析程序 | 第60-67页 |
