| 中文摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| ·研究背景 | 第12-14页 |
| ·ZnO及MgO的基本性质 | 第14-17页 |
| ·ZnO薄膜的国内外研究现状 | 第17-19页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第19-21页 |
| ·ZnO薄膜的制备技术 | 第21-24页 |
| ·课题的研究内容、目的及意义 | 第24-26页 |
| 第2章 实验及模拟方法与原理 | 第26-34页 |
| ·溶胶-凝胶法原理 | 第26-27页 |
| ·分子动力学方法原理 | 第27-28页 |
| ·实验分析技术 | 第28-31页 |
| ·模拟结果分析技术 | 第31-34页 |
| 第3章 择优取向生长的ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其生长机制研究 | 第34-58页 |
| ·ZnO薄膜的制备过程 | 第34-37页 |
| ·实验用品的准备 | 第34-35页 |
| ·前驱溶胶的配制 | 第35页 |
| ·旋转涂膜及热处理过程 | 第35-37页 |
| ·ZnO薄膜的分析表征 | 第37页 |
| ·c轴择优取向的ZnO纳米薄膜的溶胶-凝胶法制备 | 第37-49页 |
| ·Zn~(2+)浓度的影响 | 第38-41页 |
| ·MEA浓度的影响 | 第41-43页 |
| ·旋涂次数的影响 | 第43-46页 |
| ·烧结温度的影响 | 第46-49页 |
| ·a轴择优取向的ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备 | 第49-55页 |
| ·ZnO薄膜不同取向生长机制的研究 | 第55-58页 |
| 第4章 MgO(001)表面上沉积MgO薄膜过程的分子动力学模拟 | 第58-70页 |
| ·MD模拟的基本过程 | 第58-62页 |
| ·原子间相互作用势函数的选取 | 第58-59页 |
| ·模拟初始条件的确定 | 第59-60页 |
| ·模拟元胞及其周期性边界条件的确定 | 第60-61页 |
| ·模拟系统趋于平衡计算 | 第61页 |
| ·模拟结果分析 | 第61-62页 |
| ·MD模拟计算流程 | 第62页 |
| ·MD模拟模型 | 第62-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-70页 |
| ·势函数及其参数的验证 | 第64-65页 |
| ·衬底温度对沉积MgO薄膜的影响 | 第65-67页 |
| ·MgO分子入射能对沉积MgO薄膜的影响 | 第67-70页 |
| 第5章 ZnO纳米团簇在ZnO衬底表面上结构演变过程的分子动力学模拟 | 第70-76页 |
| ·模拟势函数及其参数的确定 | 第70-72页 |
| ·结果与讨论 | 第72-76页 |
| 第6章 结论与展望 | 第76-78页 |
| ·结论 | 第76页 |
| ·展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-86页 |
| 致谢 | 第86-88页 |
| 攻读硕士学位期间已发表和在投的论文 | 第88页 |
