基于MEMS技术的低阈值电压静电型微继电器的设计与研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 插图清单 | 第10-12页 |
| 表格清单 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| ·MEMS概述 | 第13-15页 |
| ·MEMS定义 | 第13-14页 |
| ·MEMS研究的重要性 | 第14-15页 |
| ·MEMS的工艺技术 | 第15-17页 |
| ·体微机械加工技术 | 第15页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第15-16页 |
| ·LIGA技术 | 第16页 |
| ·键合技术 | 第16-17页 |
| ·MEMS发展面临的困难 | 第17页 |
| ·微继电器国内外相关研究进展 | 第17-18页 |
| ·本文的课题来源 | 第18页 |
| ·论文结构以及内容安排 | 第18-20页 |
| 第二章 静电型微继电器结构概述 | 第20-32页 |
| ·静电型微继电器的工作原理 | 第20-21页 |
| ·典型静电型微继电器的设计 | 第21-29页 |
| ·悬臂梁静电型微继电器 | 第21-23页 |
| ·双端固定梁静电型微继电器 | 第23页 |
| ·扭转梁静电型微继电器 | 第23-24页 |
| ·多子梁静电型微电器 | 第24-26页 |
| ·横向驱动静电型微继电器 | 第26-27页 |
| ·一种快速转换表面微机械静电型继电器 | 第27-28页 |
| ·静电型硅微继电器与MOSFETs的集成 | 第28-29页 |
| ·静电型微继电器的发展方向 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 多级并联矩形梳齿驱动的静电型微继电器 | 第32-47页 |
| ·多级并联的结构原理 | 第32-33页 |
| ·理论解析 | 第33-39页 |
| ·梳齿结构阈值电压的解析模型 | 第33-36页 |
| ·梳齿电容的边缘效应 | 第36-38页 |
| ·梳齿结构阈值电压解析模型的修正 | 第38-39页 |
| ·矩形梳齿单元的耦合仿真分析 | 第39-44页 |
| ·梳齿结构静电场分析 | 第40-42页 |
| ·阈值电压与结构参数的关系 | 第42-44页 |
| ·梳齿结构的稳定性分析 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第四章 多级并联梯形梳齿驱动的静电型微继电器 | 第47-53页 |
| ·梯形梳齿驱动结构 | 第47-48页 |
| ·改进的理论依据 | 第48-50页 |
| ·梯形梳齿单元与矩形梳齿单元的对比 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 制造工艺与版图设计 | 第53-59页 |
| ·制造工艺 | 第53-56页 |
| ·北大两层多晶硅表面微加工工艺 | 第53-55页 |
| ·制备器件的工艺流程 | 第55-56页 |
| ·版图设计 | 第56-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-60页 |
| ·总结 | 第59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64页 |
