| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目次 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·加速度计原理及常见加速度计介绍 | 第10-12页 |
| ·石英挠性加速度计的工作原理、优点及国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·石英摆片的加工方法 | 第15-16页 |
| ·石英挠性加速度计存在的问题 | 第16-18页 |
| ·研究意义、目标、内容 | 第18-21页 |
| ·本课题的研究意义 | 第18-19页 |
| ·研究目标 | 第19页 |
| ·研究内容 | 第19-21页 |
| 2 挠性加速度传感器敏感质量摆片的受力分析及仿真 | 第21-31页 |
| ·挠性支承的力学特性分析及计算 | 第21-24页 |
| ·挠性支承的有限元模型建立与应力分布分析 | 第24-28页 |
| ·有限元分析方法 | 第24-26页 |
| ·挠性支承应力分布的有限元分析 | 第26-28页 |
| ·敏感质量摆片受力的有限元分析 | 第28-31页 |
| 3 挠性加速度传感器磁极力矩器的磁场分析及仿真 | 第31-42页 |
| ·磁极力矩器的原理设计 | 第31-35页 |
| ·MATLAB磁场计算 | 第35-38页 |
| ·磁极力矩器产生磁场的有限元仿真 | 第38-42页 |
| 4 聚酰亚胺挠性加速度传感器的设计与制作 | 第42-57页 |
| ·挠性加速度传感器的工作原理 | 第42页 |
| ·聚酰亚胺挠性加速度传感器的电路原理 | 第42-45页 |
| ·电容位移传感器检测原理 | 第42-44页 |
| ·HB309混合伺服电路原理 | 第44页 |
| ·HB309混合伺服电路调试 | 第44-45页 |
| ·聚酰亚胺挠性加速度传感器的设计 | 第45-48页 |
| ·敏感质量摆片的设计 | 第45-46页 |
| ·磁极力矩器的设计 | 第46-47页 |
| ·传感器磁路结构设计 | 第47-48页 |
| ·聚酰亚胺挠性加速度传感器的制作 | 第48-57页 |
| ·敏感质量摆片的制作 | 第48-51页 |
| ·磁极力矩器的制作 | 第51-53页 |
| ·聚酰亚胺挠性加速度传感器总体结构制作与装配 | 第53-57页 |
| 5 实验 | 第57-70页 |
| ·结构实验 | 第57-62页 |
| ·敏感质量摆片的摆动测试 | 第57-59页 |
| ·磁极力矩器产生的磁感应强度的测试 | 第59-61页 |
| ·磁路结构设计的测试 | 第61-62页 |
| ·样机测试 | 第62-70页 |
| ·测试方法和测试系统 | 第62-63页 |
| ·样机测试 | 第63-70页 |
| 6 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·研究总结 | 第70页 |
| ·本论文的创新点 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-80页 |
| 作者简历 | 第80页 |