| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-33页 |
| ·研究背景及意义 | 第14-15页 |
| ·金刚石膜概述 | 第15-23页 |
| ·金刚石膜的性能及应用 | 第15-17页 |
| ·金刚石膜制备方法简介 | 第17-18页 |
| ·新型磁控直流等离子体炬的结构和工作原理 | 第18-20页 |
| ·金刚石膜的断裂强度 | 第20-23页 |
| ·金刚石膜残余应力的研究进展及存在的不足 | 第23-30页 |
| ·数值计算的进展 | 第23-26页 |
| ·实测表征的进展 | 第26-29页 |
| ·现有研究存在的不足 | 第29-30页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第30-33页 |
| 第2章 新型磁控直流等离子体炬内部的多场耦合分析 | 第33-52页 |
| ·引言 | 第33-35页 |
| ·磁流体动力学(MHD)多场耦合模型的建立 | 第35-42页 |
| ·基本假设 | 第35页 |
| ·控制方程组 | 第35-41页 |
| ·电极鞘层的处理 | 第41-42页 |
| ·模型方程的封闭性及主要目标未知量 | 第42页 |
| ·磁控直流等离子体炬内多场耦合的数值模拟 | 第42-50页 |
| ·模拟区域 | 第42-43页 |
| ·模拟工况及边界条件 | 第43-44页 |
| ·对 FLUENT软件的二次开发 | 第44-46页 |
| ·数值模拟结果及讨论 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第3章 炬外沉积腔内等离子体射流的流动传热数值模拟 | 第52-58页 |
| ·引言 | 第52-53页 |
| ·基本假设及控制方程组 | 第53页 |
| ·研究区域 | 第53-54页 |
| ·计算工况及边界条件 | 第54页 |
| ·数值模拟结果及讨论 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 大尺寸金刚石厚膜热-力耦合瞬态研究及开裂破坏分析 | 第58-78页 |
| ·引言 | 第58-59页 |
| ·瞬态热-力耦合模型 | 第59-61页 |
| ·考虑耦合项的弹性体热传导微分方程 | 第59-60页 |
| ·平衡微分方程 | 第60页 |
| ·几何方程 | 第60-61页 |
| ·热弹性本构方程 | 第61页 |
| ·瞬态热-力耦合的有限元数值模拟 | 第61-71页 |
| ·研究区域与网格划分 | 第62页 |
| ·物性参数 | 第62-63页 |
| ·模拟工况及初始/边界条件 | 第63-64页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第64-71页 |
| ·金刚石膜开裂破坏分析及模拟计算合理性讨论 | 第71-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第5章 自支撑金刚石厚膜脱膜后的热残余应力再分配研究 | 第78-83页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·基于单元生死技术的脱膜实现及热残余应力再分配 | 第78-81页 |
| ·单元生死技术在自支撑金刚石厚膜脱膜中的具体实现 | 第78-79页 |
| ·热残余应力再分配结果分析 | 第79-81页 |
| ·金刚石膜的本征应力 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 金刚石膜热残余应力和失效破坏的影响因素研究 | 第83-96页 |
| ·基体材料的影响 | 第83-87页 |
| ·引言 | 第83-84页 |
| ·几何模型、有限元网格及边界条件 | 第84页 |
| ·常用基体材料的物性参数 | 第84-85页 |
| ·结果分析与讨论 | 第85-86页 |
| ·基体材料的选用问题 | 第86-87页 |
| ·金刚石膜厚度的影响 | 第87-91页 |
| ·计算模型 | 第88页 |
| ·结果分析与讨论 | 第88-91页 |
| ·金刚石膜半径的影响 | 第91-92页 |
| ·计算模型 | 第91页 |
| ·结果分析与讨论 | 第91-92页 |
| ·中间过渡层的影响 | 第92-95页 |
| ·引言 | 第92-93页 |
| ·计算模型 | 第93-94页 |
| ·结果分析与讨论 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 结论与创新点 | 第96-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-119页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及承担的科研工作 | 第119-120页 |
