| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-31页 |
| ·课题研究的背景、目的和意义 | 第14-16页 |
| ·共焦显微技术研究现状 | 第16-29页 |
| ·共焦显微理论的发展 | 第16-17页 |
| ·共焦显微技术的研究进展 | 第17-27页 |
| ·共焦显微技术的商业化应用 | 第27-29页 |
| ·共焦显微测量技术目前存在的问题 | 第29页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 无限距共焦显微理论建模及特性分析 | 第31-58页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·标量衍射理论基础 | 第31-34页 |
| ·无限距共焦系统成像理论 | 第34-41页 |
| ·有限距和无限距共焦基本光路对比 | 第34-36页 |
| ·无限距共焦系统衍射理论模型 | 第36-41页 |
| ·无限距共焦成像特性分析 | 第41-47页 |
| ·理想点物的无限距共焦系统成像特性 | 第41-43页 |
| ·理想平面镜的无限距共焦系统成像特性 | 第43-45页 |
| ·无限距共焦与有限距共焦显微成像模型对比 | 第45-47页 |
| ·无限距干涉共焦成像特性分析 | 第47-56页 |
| ·理想点物的无限距干涉共焦系统成像特性 | 第48-50页 |
| ·理想平面镜的无限距干涉共焦系统成像特性 | 第50-53页 |
| ·点探测器横向偏移对干涉相位的影响 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第3章 同步移相干涉共焦显微测量方法 | 第58-77页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·同步移相干涉基本原理 | 第58-60页 |
| ·同步移相干涉共焦显微测量模型及测量方法 | 第60-69页 |
| ·同步移相干涉共焦显微测量模型 | 第60-67页 |
| ·同步移相干涉共焦显微测量方法 | 第67-69页 |
| ·针孔位移对同步移相干涉共焦特性的影响 | 第69-71页 |
| ·同步移相干涉共焦显微技术特性分析 | 第71-76页 |
| ·轴向分辨力特性分析 | 第71-74页 |
| ·共模抑制及串模抑制特性分析 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 同步移相干涉共焦显微测量方法涉及的若干关键技术问题 | 第77-105页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·扫描方式对比分析 | 第77-82页 |
| ·光束扫描方式 | 第78页 |
| ·物扫描方式 | 第78-79页 |
| ·载物位移台特性测试实验 | 第79-82页 |
| ·光源分析 | 第82-84页 |
| ·物镜分析 | 第84-85页 |
| ·光学系统调试 | 第85-102页 |
| ·波片 | 第88-94页 |
| ·偏振分光棱镜 | 第94-98页 |
| ·消偏振分光棱镜 | 第98-101页 |
| ·光学系统调试步骤 | 第101-102页 |
| ·数据采集及图像重构 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-105页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第105-128页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·同步移相干涉共焦显微综合测量装置 | 第105-109页 |
| ·同步移相干涉共焦显微技术特性分析实验 | 第109-114页 |
| ·同步移相干涉共焦与传统共焦轴向分辨力对比实验 | 第109-112页 |
| ·同步移相干涉共焦与传统共焦工作距对比实验 | 第112页 |
| ·同步移相干涉共焦线性度测试实验 | 第112-114页 |
| ·同步移相干涉共焦显微成像技术典型样品测量实验 | 第114-117页 |
| ·微电路样品测量实验 | 第115-116页 |
| ·微光学透镜测量实验 | 第116-117页 |
| ·无限距共焦显微成像理论模型验证实验 | 第117-126页 |
| ·有限距物镜与无限距物镜共焦成像特性对比实验 | 第117-119页 |
| ·不同测量物镜轴向响应对比实验 | 第119页 |
| ·不同收集物镜轴向响应对比实验 | 第119-120页 |
| ·不同共轭距离轴向响应对比实验 | 第120-121页 |
| ·不同尺度照明光源轴向响应对比实验 | 第121-122页 |
| ·点探测器横向偏离影响实验 | 第122-126页 |
| ·本章小结 | 第126-128页 |
| 结论 | 第128-131页 |
| 参考文献 | 第131-141页 |
| 附录 | 第141-142页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第142-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |
| 个人简历 | 第146页 |