| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-14页 |
| 1 绪论 | 第14-34页 |
| ·非晶碳薄膜的主要制备方法 | 第15-20页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射 | 第16-18页 |
| ·其它主要制备方法 | 第18-20页 |
| ·非晶碳薄膜的研究进展 | 第20-26页 |
| ·非晶碳薄膜的沉积原理 | 第20-21页 |
| ·非晶碳薄膜的组织结构 | 第21-22页 |
| ·非晶碳薄膜的硬度 | 第22页 |
| ·非晶碳薄膜的摩擦磨损性能 | 第22-25页 |
| ·非晶碳薄膜的应用前景 | 第25-26页 |
| ·非晶碳薄膜的缺点及解决方法 | 第26-32页 |
| ·非晶碳薄膜的缺点 | 第26-27页 |
| ·元素掺杂 | 第27-30页 |
| ·钛掺杂研究现状 | 第30页 |
| ·纳米复合和纳米多层膜的强化研究与借鉴 | 第30-32页 |
| ·本论文的立题依据和研究内容 | 第32-34页 |
| 2 实验方法 | 第34-43页 |
| ·基体处理 | 第34页 |
| ·基体准备 | 第34页 |
| ·基体清洗 | 第34页 |
| ·薄膜制备方法 | 第34-39页 |
| ·脉冲激光沉积非晶碳和非晶碳/钛纳米多层膜 | 第34-35页 |
| ·磁控溅射非晶碳/氮化钛和非晶碳/钛纳米多层膜 | 第35-37页 |
| ·非平衡磁控溅射含钛非晶碳薄膜 | 第37-39页 |
| ·薄膜的组织结构分析 | 第39-41页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第39页 |
| ·扫描电子显微(SEM)观察 | 第39页 |
| ·表面轮廓仪观测 | 第39页 |
| ·透射电子显微(TEM)观察 | 第39-40页 |
| ·Raman分析 | 第40页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第40-41页 |
| ·薄膜的性能分析 | 第41-43页 |
| ·界面结合力测试 | 第41页 |
| ·内应力分析 | 第41页 |
| ·纳米压痕测试 | 第41页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第41-42页 |
| ·电化学性能测试 | 第42-43页 |
| 3 脉冲激光沉积非晶碳和非晶碳/钛纳米多层膜的组织结构与性能 | 第43-69页 |
| ·工艺参数对非晶碳薄膜的影响 | 第43-46页 |
| ·正交实验设计 | 第43页 |
| ·工艺参数对非晶碳薄膜生长速率的影响 | 第43页 |
| ·工艺参数对非晶碳薄膜表面形貌的影响 | 第43-46页 |
| ·脉冲激光沉积非晶碳薄膜的组织结构与性能 | 第46-56页 |
| ·非晶碳薄膜的制备 | 第46-48页 |
| ·非晶碳薄膜的组织结构 | 第48-53页 |
| ·非晶碳薄膜的内应力 | 第53页 |
| ·非晶碳薄膜的硬度 | 第53-55页 |
| ·非晶碳薄膜的组织结构和机械性能的变化分析 | 第55-56页 |
| ·脉冲激光沉积非晶碳/钛纳米多层膜的组织结构与性能 | 第56-68页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的制备 | 第56-58页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的组织结构 | 第58-62页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的内应力 | 第62页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的结合力 | 第62-64页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的硬度 | 第64-65页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的摩擦磨损性能 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 4 磁控溅射非晶碳/氮化钛和非晶碳/钛纳米多层膜的组织结构与性能 | 第69-103页 |
| ·非晶碳/氮化钛纳米多层膜的组织结构与性能 | 第69-83页 |
| ·非晶碳和氮化钛薄膜的制备和组织结构 | 第69-72页 |
| ·非晶碳/氮化钛纳米多层膜的制备和组织结构 | 第72页 |
| ·非晶碳/氮化钛纳米多层膜的结合力 | 第72-75页 |
| ·非晶碳/氮化钛纳米多层膜的硬度 | 第75-76页 |
| ·非晶碳/氮化钛纳米多层膜的摩擦磨损性能 | 第76-79页 |
| ·与钨/氮化铌超晶格薄膜的比较 | 第79-83页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的组织结构与性能 | 第83-99页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的制备 | 第83页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的组织结构 | 第83-89页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的结合力 | 第89-90页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的内应力 | 第90-91页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的硬度 | 第91-93页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜在大气条件下的摩擦磨损性能 | 第93-95页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜在低真空条件下的摩擦磨损 | 第95-97页 |
| ·非晶碳/钛纳米多层膜的磨痕分析 | 第97-99页 |
| ·分析讨论 | 第99-101页 |
| ·钛掺杂对非晶碳组织结构的影响 | 第99页 |
| ·多层膜结构与结合力 | 第99-100页 |
| ·耐磨薄膜的设计 | 第100-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 5 非平衡磁控溅射含钛非晶碳薄膜的制备及性能 | 第103-125页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的组织结构 | 第103-110页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的形貌 | 第103-104页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的组织结构 | 第104-110页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的机械性能 | 第110-115页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的结合力 | 第110-111页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的内应力 | 第111页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的硬度 | 第111-113页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的干摩擦磨损性能 | 第113-115页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的在Hanks’溶液中的电化学性能 | 第115-119页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的在Hanks’溶液中的开路电压 | 第115页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的在Hanks'溶液中的循环极化性能 | 第115-116页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的在Hanks'溶液中的定电压腐蚀 | 第116-119页 |
| ·含钛非晶碳薄膜在Hanks’溶液中的摩擦磨损性能 | 第119-122页 |
| ·含钛非晶碳薄膜在Hanks’溶液中的摩擦系数与磨损率 | 第119-120页 |
| ·含钛非晶碳薄膜的磨痕分析 | 第120-122页 |
| ·非晶纯碳薄膜的超高硬度分析 | 第122-123页 |
| ·本章小结 | 第123-125页 |
| 6 总结与展望 | 第125-128页 |
| ·总结 | 第125-126页 |
| ·本文创新点 | 第126-127页 |
| ·展望 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-150页 |
| 作者简历和在学期间完成的论文与专利 | 第150-151页 |
| 作者简历 | 第150页 |
| 攻读学位期间完成论文与专利 | 第150-151页 |
