| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-11页 |
| 1.2 国内外发展与现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 柔性薄膜器件的发展 | 第11页 |
| 1.2.2 柔性电子器件的市场分析 | 第11-12页 |
| 1.2.3 兰姆波谐振器件的发展及现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 柔性兰姆波器件的工作原理 | 第16-28页 |
| 2.1 兰姆波谐振器的设计原理及参数分析 | 第16-20页 |
| 2.1.1 单端口兰姆波谐振器 | 第17-18页 |
| 2.1.2 双端口兰姆波谐振器 | 第18-20页 |
| 2.2 压电材料的选择 | 第20-23页 |
| 2.2.1 AlN压电薄膜的材料特点及制备工艺 | 第21-23页 |
| 2.3 柔性衬底材料的选择 | 第23-24页 |
| 2.4 柔性器件的制备方法 | 第24-27页 |
| 2.5 本章总结 | 第27-28页 |
| 第3章 柔性兰姆波器件的设计与制作 | 第28-46页 |
| 3.1 兰姆波谐振器的版图设计 | 第29-32页 |
| 3.2 硅衬底兰姆波器件的加工流程 | 第32-34页 |
| 3.3 柔性空腔的制作 | 第34-37页 |
| 3.4 柔性兰姆波器件的制作流程 | 第37-45页 |
| 3.4.1 转移方法介绍 | 第37-38页 |
| 3.4.2 器件的转移流程 | 第38-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 柔性兰姆波谐振器的性能测试 | 第46-58页 |
| 4.1 柔性LWR在水平条件下的性能测试 | 第46-50页 |
| 4.2 柔性LWR在弯曲条件下的性能测试 | 第50-53页 |
| 4.3 柔性LWR在不同温度条件下的性能测试 | 第53-54页 |
| 4.4 柔性兰姆波谐振器与硅衬底的兰姆波谐振器的性能对比 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 本文总结 | 第58-59页 |
| 5.2 对未来工作的展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |