| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-11页 |
| 1.2 空间隔离原子层沉积原理介绍 | 第11-12页 |
| 1.3 空间隔离原子层沉积国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 课题意义及主要工作 | 第14-16页 |
| 第2章 空间隔离原子层沉积系统的设计 | 第16-29页 |
| 2.1 空间隔离原子层沉积系统的整体介绍及工艺条件 | 第16-21页 |
| 2.2 空间隔离原子层沉积系统的气路设计 | 第21-22页 |
| 2.3 空间隔离原子层沉积系统喷头结构设计 | 第22-23页 |
| 2.4 空间隔离原子层沉积系统加热的设计 | 第23-24页 |
| 2.5 空间隔离原子层沉积系统运动系统的设计 | 第24-26页 |
| 2.6 空间隔离原子层沉积系统控制系统的设计 | 第26-28页 |
| 2.7 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 空间隔离原子层沉积系统的优化 | 第29-42页 |
| 3.1 空间隔离原子层沉积系统喷头优化 | 第29-32页 |
| 3.2 空间隔离原子层系统加热系统的温度补偿 | 第32-33页 |
| 3.3 空间隔离原子层系统传动系统和间距调节 | 第33-37页 |
| 3.4 空间隔离原子层沉积系统外部实验环境 | 第37-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 空间隔离原子层沉积系统制备层叠状纳米薄膜 | 第42-57页 |
| 4.1 空间隔离原子层沉积系统制备氧化锌薄膜 | 第43-47页 |
| 4.2 空间隔离原子层沉积系统制备氧化钛薄膜 | 第47-50页 |
| 4.3 氧化锌/氧化钛层状薄膜特性研究 | 第50-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第65页 |