| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第16页 |
| 1.2 研究目的和意义 | 第16-17页 |
| 1.3 国内外的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 准分子激光微加工的应用 | 第18-24页 |
| 1.4.1 微电子行业及先进封装技术领域的应用 | 第18-20页 |
| 1.4.2 MEMS材料加工 | 第20-23页 |
| 1.4.3 生物医学材料加工应用 | 第23-24页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 准分子激光及微加工机理 | 第25-33页 |
| 2.1 准分子激光原理 | 第25-26页 |
| 2.2 准分子激光光束特性 | 第26-28页 |
| 2.2.1 激光波长 | 第26-27页 |
| 2.2.2 光强分布 | 第27页 |
| 2.2.3 脉冲宽度 | 第27-28页 |
| 2.3 准分子激光器技术的发展 | 第28页 |
| 2.4 准分子激光微加工系统 | 第28-29页 |
| 2.5 准分子激光微加工的两种方式 | 第29页 |
| 2.5.1 掩模投影 | 第29页 |
| 2.5.2 激光直写 | 第29页 |
| 2.6 准分子激光与物质相互作用机理 | 第29-31页 |
| 2.6.1 光化学理论 | 第30页 |
| 2.6.2 光热理论 | 第30-31页 |
| 2.6.3 光热-光化学理论 | 第31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 不同波长准分子激光微加工Al_2O_3陶瓷的实验研究 | 第33-48页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 实验材料 | 第33页 |
| 3.3 193 nm准分子激光微加工Al_2O_3陶瓷的实验研究 | 第33-37页 |
| 3.3.1 实验装置和实验方法 | 第33-35页 |
| 3.3.2 实验结果及分析 | 第35-37页 |
| 3.4 248 nmKrF准分子激光微孔加工Al_2O_3陶瓷的实验研究 | 第37-42页 |
| 3.4.1 实验装置和实验内容 | 第37-38页 |
| 3.4.2 实验结果和分析 | 第38-42页 |
| 3.5 308 nm准分子激光微加工Al_2O_3陶瓷的实验研究 | 第42-46页 |
| 3.5.1 实验装置和实验内容 | 第42-43页 |
| 3.5.2 实验结果和分析 | 第43-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 不同波长准分子激光微加工硅晶片的实验研究 | 第48-62页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验材料 | 第48-49页 |
| 4.3 实验装置 | 第49页 |
| 4.4 193 nm准分子激光微加工硅晶片的实验研究 | 第49-53页 |
| 4.4.1 实验内容 | 第49页 |
| 4.4.2 实验结果及分析 | 第49-53页 |
| 4.5 248 nm准分子激光微加工硅晶片的实验研究 | 第53-57页 |
| 4.5.1 实验内容 | 第53页 |
| 4.5.2 实验结果及分析 | 第53-57页 |
| 4.6 308 nm准分子激光微加工硅晶片的实验研究 | 第57-61页 |
| 4.6.1 实验内容 | 第57-58页 |
| 4.6.2 实验结果和分析 | 第58-61页 |
| 4.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62-63页 |
| 5.2 论文的主要创新点 | 第63页 |
| 5.3 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果情况 | 第68-69页 |
