激光刻线实用样机研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.3 课题研究内容的发展及国内外现状 | 第9-12页 |
| 1.3.1 卡尺刻线机发展及国内外现状 | 第9-10页 |
| 1.3.2 高分辨率线性平台研究发展及国内外现状 | 第10-12页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 刻线机设计与搭建 | 第13-26页 |
| 2.1 系统总体方案设计 | 第13-14页 |
| 2.1.1 系统整体方案设计 | 第13页 |
| 2.1.2 系统设计技术参数 | 第13-14页 |
| 2.2 激光器选择 | 第14-16页 |
| 2.3 系统机械结构设计 | 第16页 |
| 2.4 光学结构设计 | 第16-18页 |
| 2.5 系统控制箱设计及系统部件选用 | 第18-24页 |
| 2.5.1 控制电路设计 | 第18-21页 |
| 2.5.2 控制卡功能分析 | 第21-23页 |
| 2.5.3 电源模块选用 | 第23页 |
| 2.5.4 系统干扰与抗干扰 | 第23-24页 |
| 2.6 激光器的校装 | 第24-25页 |
| 2.7 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 高分辨率平移台设计及校装 | 第26-41页 |
| 3.1 平移台方案设计及校装 | 第26-29页 |
| 3.1.1 平移系统整体方案 | 第26页 |
| 3.1.2 平移台电机特性及选择 | 第26-29页 |
| 3.2 电机控制信号检测 | 第29-31页 |
| 3.3 光栅尺细分方案设计及硬件制作 | 第31-37页 |
| 3.3.1 光栅细分电路总体设计 | 第31-32页 |
| 3.3.2 差值率细分模块设计 | 第32-34页 |
| 3.3.3 差动线路驱动模块设计 | 第34-35页 |
| 3.3.4 模块外围驱动电路设计 | 第35页 |
| 3.3.5 光栅信号输入端设计 | 第35页 |
| 3.3.6 细分硬件制作 | 第35-37页 |
| 3.4 细分模块的干扰抑制 | 第37-38页 |
| 3.5 平移导轨与光栅尺的校装 | 第38-40页 |
| 3.5.1 平移模组校装 | 第38页 |
| 3.5.2 光栅尺校装 | 第38-39页 |
| 3.5.3 行程开关校装 | 第39页 |
| 3.5.4 平移系统调试 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 刻线机精度分析 | 第41-54页 |
| 4.1 扫描系统精度分析 | 第41-46页 |
| 4.1.1 扫描误差分析 | 第41-42页 |
| 4.1.2 误差校正方法 | 第42-46页 |
| 4.2 光栅尺位移测量精度分析 | 第46-53页 |
| 4.2.1 莫尔条纹原理 | 第46页 |
| 4.2.2 光栅傅里叶分析 | 第46-52页 |
| 4.2.3 莫尔条纹的长度测量原理分析 | 第52-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 刻尺工艺实验及效果验证实验 | 第54-61页 |
| 5.1 游标卡尺刻度线标刻工艺参数 | 第54-57页 |
| 5.2 刻线视觉效果选择实验 | 第57-58页 |
| 5.3 激光加工刻度线对卡尺镀层的影响 | 第58-60页 |
| 5.3.1 镀铬层检验 | 第58-59页 |
| 5.3.2 硬度测试实验 | 第59-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论与展望 | 第61-62页 |
| 6.1 总结 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
