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ZnO忆阻器的全溶液法制备及性能研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第12-23页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 忆阻器的概况第13-17页
        1.2.1 忆阻器的材料体系第13-15页
        1.2.2 忆阻器的机理探讨第15-17页
    1.3 常用忆阻器的制备方法第17-18页
    1.4 ZnO基忆阻器的研究进展第18-20页
    1.5 溶液法制备忆阻器的背景和研究现状第20-21页
    1.6 本文的研究意义和主要内容第21-23页
第二章 实验方法与表征技术第23-32页
    2.1 引言第23页
    2.2 薄膜制备技术第23-27页
        2.2.1 溶胶-凝胶旋涂法第23-24页
        2.2.2 真空抽滤法第24-25页
        2.2.3 退火处理第25-27页
    2.3 薄膜表征及器件测试设备第27-31页
        2.3.1 光谱型椭偏仪第27-28页
        2.3.2 霍尔效应测试仪第28页
        2.3.3 X射线衍射仪第28-29页
        2.3.4 扫描电子显微镜第29-30页
        2.3.5 扫描探针显微镜第30页
        2.3.6 半导体参数测试仪第30-31页
    2.4 本章小结第31-32页
第三章 全溶液法制备AZO/ZnO/AZO忆阻器第32-42页
    3.1 引言第32页
    3.2 AZO电极的制备和表征第32-37页
        3.2.1 AZO前驱体的配制第32-33页
        3.2.2 溶胶-凝胶旋涂法制备AZO薄膜第33-34页
        3.2.3 AZO薄膜的性能优化第34-37页
    3.3 ZnO阻变层的制备第37-38页
        3.3.1 ZnO前驱体的配制第37-38页
        3.3.2 溶胶-凝胶旋涂法制备ZnO薄膜第38页
    3.4 全溶液法制备AZO/ZnO/AZO忆阻器的阻变特性第38-40页
    3.5 本章小结第40-42页
第四章 全溶液法制备G/ZnO/AZO忆阻器第42-61页
    4.1 引言第42页
    4.2 石墨烯顶电极的制备第42-44页
        4.2.1 石墨烯分散液的配制第42-43页
        4.2.2 真空抽滤法制备石墨烯薄膜第43-44页
    4.3 ZnO阻变层的性能优化第44-51页
        4.3.1 退火条件对ZnO阻变性能的影响第44-50页
        4.3.2 溶胶浓度对ZnO阻变性能的影响第50-51页
    4.4 AZO底电极的优化第51-54页
        4.4.1 高温快速退火对AZO薄膜性能的影响第51-52页
        4.4.2 前驱体中H~+掺杂对AZO薄膜性能的影响第52-54页
    4.5 优化后全溶液法制备的G/ZnO/AZO忆阻器第54-59页
        4.5.1 G/ZnO/AZO忆阻器的阻变特性第54-58页
        4.5.2 G/ZnO/AZO忆阻器的透射率第58-59页
    4.6 本章小结第59-61页
第五章 总结与展望第61-64页
    5.1 总结第61-62页
    5.2 展望第62-64页
致谢第64-65页
参考文献第65-75页
附录第75页

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