| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 前言 | 第8-16页 |
| 1.1 超导材料 | 第8-10页 |
| 1.1.1 超导材料的发展 | 第8-9页 |
| 1.1.2 超导材料的应用 | 第9页 |
| 1.1.3 超导薄膜的制备方法 | 第9-10页 |
| 1.2 YBCO薄膜及其多层膜的研究 | 第10-13页 |
| 1.2.1 YBCO超导材料 | 第10-11页 |
| 1.2.2 YBCO薄膜的制备 | 第11-12页 |
| 1.2.3 YBCO多层膜的现状 | 第12-13页 |
| 1.3 LNO薄膜的特性和结构 | 第13页 |
| 1.4 薄膜的微细加工 | 第13-14页 |
| 1.5 研究内容与目的 | 第14-16页 |
| 2 实验方案与设备 | 第16-24页 |
| 2.1 实验方法 | 第16-17页 |
| 2.2 实验试剂 | 第17-19页 |
| 2.3 实验设备 | 第19-24页 |
| 2.3.1 薄膜制备设备 | 第19-21页 |
| 2.3.2 观察与测试设备 | 第21-24页 |
| 3 薄膜的制备和分析 | 第24-46页 |
| 3.1 YBCO薄膜的制备方法 | 第24-31页 |
| 3.1.1 温度、氧分压对YBCO薄膜取向和性能的影响 | 第25-31页 |
| 3.2 YBCO/LNO、LNO/YBCO复合膜的制备与分析 | 第31-41页 |
| 3.2.1 LNO薄膜的制备与分析 | 第31-34页 |
| 3.2.2 LAO基板/YBCO/LNO复合膜的制备与分析 | 第34-38页 |
| 3.2.3 LAO基板/LNO/YBCO复合膜的制备与分析 | 第38-41页 |
| 3.3 YBCO/LNO/YBCO的制备与微观形貌分析 | 第41-46页 |
| 3.3.1 LAO基板/YBCO/LNO/YBCO三层膜的制备 | 第41页 |
| 3.3.2 LAO基板/YBCO/LNO/YBCO三层膜的显微结构分析 | 第41-45页 |
| 3.3.3 小结 | 第45-46页 |
| 4 交叉型SNS约瑟夫森结的制备 | 第46-52页 |
| 4.1 YBCO细线的制备 | 第46-47页 |
| 4.2 溶洗时间对YBCO细线质量的影响 | 第47-48页 |
| 4.3 30μm宽YBCO细线的性能分析 | 第48-49页 |
| 4.4 YBCO/LNO图形复合膜的制备 | 第49页 |
| 4.5 交叉结构薄膜的制备 | 第49-50页 |
| 4.6 交叉结构三层膜的超导电性分析 | 第50-52页 |
| 5 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
