| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-36页 |
| 1.1 课题的背景和意义 | 第15-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-33页 |
| 1.2.1 Wolter-Ⅰ型EUV光学收集镜简介 | 第18-19页 |
| 1.2.2 Wolter-Ⅰ型EUV光学收集镜制造技术研究现状 | 第19-21页 |
| 1.2.3 Wolter-Ⅰ型结构光学芯轴表面加工技术研究现状 | 第21-31页 |
| 1.2.4 Wolter-Ⅰ型结构光学芯轴表面测量技术研究现状 | 第31-33页 |
| 1.3 复制制造Wolter-Ⅰ型EUV光学收集镜存在的问题 | 第33-34页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第34-36页 |
| 第2章 车削Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面刀具运动轨迹计算方法研究 | 第36-60页 |
| 2.1 引言 | 第36页 |
| 2.2 Wolter-Ⅰ型芯轴表面结构特点简介 | 第36-37页 |
| 2.3 Wolter-Ⅰ型结构芯轴摆动车削刀具运动轨迹研究 | 第37-48页 |
| 2.3.1 三轴联动摆动车削芯轴刀具运动轨迹计算及仿真分析 | 第38-42页 |
| 2.3.2 两轴联动摆动车削芯轴刀具运动轨迹计算及仿真分析 | 第42-48页 |
| 2.4 Wolter-Ⅰ型结构芯轴正交车削刀具运动轨迹研究 | 第48-53页 |
| 2.4.1 Wolter-Ⅰ型结构芯轴正交车削刀具运动轨迹数学模型的建立 | 第49-51页 |
| 2.4.2 刀具中心运动轨迹参数计算仿真软件设计 | 第51-53页 |
| 2.5 Wolter-Ⅰ型芯轴表面车削加工实验 | 第53-59页 |
| 2.5.1 车削参数对表面粗糙度影响的理论分析 | 第54页 |
| 2.5.2 Wolter-Ⅰ型芯轴表面车削轨迹仿真与车削实验 | 第54-59页 |
| 2.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面尺寸误差和轮廓误差检验方法研究 | 第60-76页 |
| 3.1 引言 | 第60页 |
| 3.2 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面尺寸误差和轮廓误差检验方法 | 第60-64页 |
| 3.2.1 辅助测量调整装置设计 | 第61-62页 |
| 3.2.2 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面尺寸误差分析与计算方法 | 第62-63页 |
| 3.2.3 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面轮廓误差分析与计算方法 | 第63-64页 |
| 3.3 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面测量实验 | 第64-71页 |
| 3.3.1 Wolter-Ⅰ型结构芯轴的安装与调整 | 第65-66页 |
| 3.3.2 基于Haar小波变换建立测量坐标系 | 第66-68页 |
| 3.3.3 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面尺寸误差检验 | 第68页 |
| 3.3.4 基于sym5小波Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面轮廓误差检验 | 第68-71页 |
| 3.4 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面测量误差分析 | 第71-75页 |
| 3.4.1 Wolter-Ⅰ型结构芯轴安装与调整引起的测量误差分析 | 第71-74页 |
| 3.4.2 轮廓仪探针半径引起的测量误差分析 | 第74页 |
| 3.4.3 工件自身形状偏差分析 | 第74-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 第4章 球形工具抛光Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面方法研究 | 第76-94页 |
| 4.1 引言 | 第76页 |
| 4.2 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面抛光方法 | 第76-82页 |
| 4.2.1 抛光Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面材料去除函数模型建立 | 第76-81页 |
| 4.2.2 抛光Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面球形工具运动轨迹计算方法 | 第81-82页 |
| 4.3 抛光Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面仿真分析与实验 | 第82-88页 |
| 4.3.1 抛光参数对材料去除深度影响仿真分析 | 第82-86页 |
| 4.3.2 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面抛光实验 | 第86-87页 |
| 4.3.3 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面抛光之后粗糙度检验 | 第87-88页 |
| 4.4 轮廓仪检验抛光后Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面粗糙度的方法 | 第88-92页 |
| 4.4.1 基于小波包提取抛光后芯轴表面粗糙度方法 | 第89-90页 |
| 4.4.2 基于小波包提取抛光后芯轴表面粗糙度方法准确性检验 | 第90-92页 |
| 4.5 本章小结 | 第92-94页 |
| 第5章 Wolter-Ⅰ型光学收集镜复制制造工艺研究 | 第94-108页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面粗加工工艺 | 第94-97页 |
| 5.2.1 计算机辅助制造方法粗车削芯轴表面 | 第95-96页 |
| 5.2.2 控制刀具中心运动轨迹方法粗车削芯轴表面 | 第96-97页 |
| 5.3 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面化学镀镍磷合金工艺 | 第97-98页 |
| 5.4 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面精加工工艺 | 第98-99页 |
| 5.5 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面复制反射金膜工艺 | 第99-100页 |
| 5.6 Wolter-Ⅰ型结构芯轴表面镀金膜后电铸镜壳工艺 | 第100-102页 |
| 5.7 Wolter-Ⅰ型结构芯轴与收集镜分离工艺 | 第102-104页 |
| 5.8 复制制造Wolter-Ⅰ型EUV光学收集镜工艺中关键问题分析 | 第104-106页 |
| 5.9 本章小结 | 第106-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-120页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第120-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 个人简历 | 第123页 |
