| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光子晶体传感的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 光子晶体传感结构的基本研究方法 | 第12-15页 |
| 1.3.1 平面波展开法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 有限元法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 传输矩阵法 | 第14页 |
| 1.3.4 时域有限差分法 | 第14-15页 |
| 1.4 光子晶体制备工艺 | 第15-17页 |
| 1.4.1 精密机械钻孔法 | 第15-16页 |
| 1.4.2 交替沉膜法 | 第16页 |
| 1.4.3 半导体制造法 | 第16页 |
| 1.4.4 光学方法 | 第16-17页 |
| 1.5 论文结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 基于砷化镓的二维光子晶体传感结构的设计与分析 | 第19-32页 |
| 2.1 基于砷化镓的二维光子晶体传感结构的研究理论 | 第19-22页 |
| 2.1.1 光子晶体压力传感结构的研究理论 | 第19-21页 |
| 2.1.2 光子晶体温度传感结构的研究理论 | 第21-22页 |
| 2.2 光子晶体光子带隙及缺陷态分析 | 第22-24页 |
| 2.3 光子晶体压力传感结构的设计与分析 | 第24-28页 |
| 2.3.1 光子晶体压力传感的结构设计 | 第24-25页 |
| 2.3.2 光子晶体压力传感结构的性能分析 | 第25-28页 |
| 2.4 光子晶体温度传感结构的设计与分析 | 第28-31页 |
| 2.4.1 光子晶体温度传感的结构设计 | 第28-29页 |
| 2.4.2 光子晶体温度传感结构的性能分析 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 考虑温度影响的光子晶体压力传感结构的设计与分析 | 第32-49页 |
| 3.1 考虑温度影响的光子晶体压力传感结构的研究原理 | 第32-33页 |
| 3.2 光子晶体耦合模式理论 | 第33-35页 |
| 3.3 波导-微腔耦合模式对光子传输影响的研究 | 第35-42页 |
| 3.3.1 具有不同腔模式的压力传感结构模型的设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 耦合模式对单模式谐振波长的影响 | 第36-38页 |
| 3.3.3 对温度灵敏系数k、压力灵敏度S和品质因子Q的影响 | 第38-40页 |
| 3.3.4 耦合模式对极端温差下滤波波长差的影响 | 第40-42页 |
| 3.4 考虑温度影响的光子晶体压力传感结构的优化设计与分析 | 第42-47页 |
| 3.4.1 考虑温度影响的光子晶体压力传感的结构优化设计 | 第42-43页 |
| 3.4.2 考虑温度影响的光子晶体压力传感结构的优化分析 | 第43-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 引入PDMS材料的压力传感结构的设计与分析 | 第49-66页 |
| 4.1 引入PDMS材料的压应变型压力传感结构的设计与分析 | 第49-56页 |
| 4.1.1 压应变型压力传感的结构设计 | 第49-51页 |
| 4.1.2 压应变型压力传感结构的性能分析 | 第51-56页 |
| 4.2 引入PDMS材料的拉伸应变型压力传感的结构设计和性能分析 | 第56-64页 |
| 4.2.1 Si悬臂梁的模型设计 | 第56-57页 |
| 4.2.2 拉伸应变型压力传感的结构设计 | 第57-59页 |
| 4.2.3 拉伸应变型压力传感结构的性能分析 | 第59-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-69页 |
| 5.1 全文小结 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第71-72页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
