多波段真空镀膜监控系统研究
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 光学薄膜应用及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 薄膜制备方法 | 第11-13页 |
| 1.2.1 真空蒸发镀膜 | 第11-12页 |
| 1.2.2 真空溅射镀膜 | 第12-13页 |
| 1.2.3 其它镀膜方法 | 第13页 |
| 1.3 薄膜生长监控方法 | 第13-17页 |
| 1.3.1 石英晶体振荡法 | 第14-15页 |
| 1.3.2 光电极值法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 宽光谱扫描法 | 第16-17页 |
| 1.3.4 其它监控方法 | 第17页 |
| 1.4 本文的结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 监控系统原理及方案 | 第19-25页 |
| 2.1 监控系统原理 | 第19-22页 |
| 2.2 监控系统整体设计方案 | 第22-24页 |
| 2.2.1 系统工作流程 | 第22-23页 |
| 2.2.2 上位机与单片机通信方式 | 第23-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 监控系统硬件设计 | 第25-35页 |
| 3.1 整体设计方案 | 第25-26页 |
| 3.2 多波段选择模块 | 第26-28页 |
| 3.2.1 输入光路选择 | 第26页 |
| 3.2.2 输出光路控制 | 第26-28页 |
| 3.3 信号采集与处理模块 | 第28-31页 |
| 3.3.1 模拟信号放大 | 第28-30页 |
| 3.3.2 模数转换 | 第30-31页 |
| 3.4 控制与传输模块 | 第31-34页 |
| 3.4.1 AN2131SC单片机及外围电路 | 第31-33页 |
| 3.4.2 EZ-USB传输控制 | 第33-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 监控系统软件设计 | 第35-46页 |
| 4.1 单片机固件程序设计 | 第35-39页 |
| 4.1.1 固件程序框架 | 第35-37页 |
| 4.1.2 单片机数据输入与输出 | 第37-38页 |
| 4.1.3 控制信号接收与发出 | 第38-39页 |
| 4.2 上位机应用程序设计 | 第39-45页 |
| 4.2.1 上位机应用程序流程 | 第40-41页 |
| 4.2.2 数据接收、处理与绘图 | 第41-43页 |
| 4.2.3 上位机关键函数功能与实现 | 第43-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 监控系统测试 | 第46-53页 |
| 5.1 硬件电路测试 | 第47-50页 |
| 5.1.1 硬件设备与上位机连接测试 | 第47-48页 |
| 5.1.2 模数转换时序测试 | 第48-49页 |
| 5.1.3 信号放大测试 | 第49-50页 |
| 5.2 软件测试 | 第50-52页 |
| 5.2.1 上位机功能测试 | 第50-52页 |
| 5.3 本章小节 | 第52-53页 |
| 总结与展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录 PCB图 | 第58-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |
