| 摘要 | 第10-14页 |
| Abstract | 第14-18页 |
| 第一章 绪论 | 第19-37页 |
| 1.1 稀土发光材料的基本理论和应用 | 第19-22页 |
| 1.2 稀土离子掺杂氧化锌材料的理论和应用 | 第22-28页 |
| 1.2.1 氧化锌材料的基本特性 | 第22-24页 |
| 1.2.2 稀土掺杂氧化锌材料的研究现状 | 第24-28页 |
| 1.3 氧化锌薄膜的制备方法 | 第28-29页 |
| 1.4 论文的研究内容与安排 | 第29-31页 |
| 1.4.1 论文研究内容 | 第29-30页 |
| 1.4.2 论文安排 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-37页 |
| 第二章 实验分析及测试方法 | 第37-44页 |
| 2.1 磁控溅射技术 | 第37-38页 |
| 2.2 离子注入技术 | 第38-40页 |
| 2.3 荧光光谱测试系统 | 第40-41页 |
| 2.4 聚焦离子束刻蚀技术 | 第41页 |
| 2.5 棱镜耦合 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-44页 |
| 第三章 掺铒氧化锌薄膜的荧光特性研究 | 第44-56页 |
| 3.1 衬底温度对铒荧光的影响 | 第44-48页 |
| 3.1.1 实验过程 | 第44-45页 |
| 3.1.2 实验结果及讨论 | 第45-48页 |
| 3.2 溅射氧氩比对铒荧光的影响 | 第48-50页 |
| 3.2.1 实验过程 | 第48页 |
| 3.2.2 实验结果及讨论 | 第48-50页 |
| 3.3 工作压强对铒荧光的影响 | 第50-53页 |
| 3.3.1 实验过程 | 第50-51页 |
| 3.3.2 实验结果及讨论 | 第51-53页 |
| 3.4 小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第四章 锗纳米颗粒对掺铒氧化锌薄膜的荧光增强作用研究 | 第56-83页 |
| 4.1 锗纳米颗粒的基本性质及理论研究 | 第56-60页 |
| 4.2 溅射锗共掺对掺铒氧化锌薄膜的荧光增强作用研究 | 第60-75页 |
| 4.2.1 实验过程 | 第60-61页 |
| 4.2.2 实验结果及讨论 | 第61-75页 |
| 4.3 离子注入锗对掺铒氧化锌薄膜的荧光增强作用研究 | 第75-79页 |
| 4.3.1 实验过程 | 第75页 |
| 4.3.2 实验结果及讨论 | 第75-79页 |
| 4.4 小结 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 第五章 掺铒氧化锌薄膜光子晶体结构和单模波导结构研究 | 第83-101页 |
| 5.1 掺铒氧化锌薄膜光子晶体结构研究 | 第83-90页 |
| 5.1.1 实验过程 | 第83-84页 |
| 5.1.2 实验结果及讨论 | 第84-90页 |
| 5.2 掺铒氧化锌薄膜单模波导结构研究 | 第90-97页 |
| 5.2.1 实验过程 | 第90-91页 |
| 5.2.2 实验结果及讨论 | 第91-97页 |
| 5.3 小结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-101页 |
| 第六章 总结 | 第101-105页 |
| 6.1 主要内容与成果 | 第101-103页 |
| 6.1.1 掺铒氧化锌薄膜的荧光特性研究 | 第101-102页 |
| 6.1.2 锗纳米颗粒对掺铒氧化锌薄膜的荧光增强作用研究 | 第102页 |
| 6.1.3 掺铒氧化锌薄膜光子晶体结构研究 | 第102-103页 |
| 6.1.4 掺铒氧化锌薄膜单模波导结构研究 | 第103页 |
| 6.2 主要创新点 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第106-108页 |
| 附英文论文两篇 | 第108-121页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第121页 |
