无过渡层的超薄类金刚石磁头保护膜结构和性能研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题来源及背景 | 第10-11页 |
| 1.2 课题研究的意义 | 第11页 |
| 1.3 磁头简介 | 第11-13页 |
| 1.4 类金刚石薄膜的基本概念及发展现状 | 第13-18页 |
| 1.4.1 DLC 膜简介 | 第13-15页 |
| 1.4.2 DLC 膜性能 | 第15-16页 |
| 1.4.3 DLC 膜的发展和制备方法 | 第16-18页 |
| 1.5 类金刚石薄膜生长机理 | 第18页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 类金刚石薄膜的制备与分析方法 | 第20-29页 |
| 2.1 类金刚石薄膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.2 类金刚石薄膜厚度的确定 | 第21-23页 |
| 2.3 类金刚石薄膜的分析方法 | 第23-27页 |
| 2.3.1 原子力显微镜 | 第23-24页 |
| 2.3.2 电子显微镜 | 第24页 |
| 2.3.3 俄歇电子能谱仪 | 第24页 |
| 2.3.4 拉曼光谱仪 | 第24-25页 |
| 2.3.5 接触角测量仪 | 第25页 |
| 2.3.6 磁头折片组合动态性能测试仪 | 第25-27页 |
| 2.3.7 纳米划痕仪 | 第27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 类金刚石薄膜的表面形貌与结构分析 | 第29-41页 |
| 3.1 类金刚石薄膜的表面形貌和粗糙度 | 第29-33页 |
| 3.2 类金刚石薄膜在基体表面的覆盖程度 | 第33-34页 |
| 3.3 类金刚石薄膜表面元素分析 | 第34-36页 |
| 3.4 类金刚石薄膜拉曼光谱分析 | 第36-38页 |
| 3.5 类金刚石薄膜电子能量损失谱分析 | 第38-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 类金刚石薄膜的性能分析 | 第41-59页 |
| 4.1 类金刚石薄膜的表面吸附性能 | 第41-44页 |
| 4.1.1 水接触角法 | 第41-42页 |
| 4.1.2 直接计算表面能法 | 第42-44页 |
| 4.2 类金刚石薄膜的耐磨损性能 | 第44-55页 |
| 4.3 类金刚石薄膜的膜基结合性能 | 第55-56页 |
| 4.4 类金刚石薄膜的耐腐蚀性能 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
