激光诱导背面湿式刻蚀加工蓝宝石的机理与工艺规律研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号说明 | 第8-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| CONTENTS | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-17页 |
| 1.2 激光诱导背面湿式刻蚀技术的特点 | 第17-18页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第18-24页 |
| 1.3.1 激光干式加工 | 第18页 |
| 1.3.2 激光诱导背面湿式刻蚀 | 第18-20页 |
| 1.3.3 激光诱导空泡现象 | 第20-22页 |
| 1.3.4 激光诱导背面湿式刻蚀加工机理 | 第22-24页 |
| 1.4 存在的问题 | 第24页 |
| 1.5 课题来源及意义 | 第24-25页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第24-25页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第25页 |
| 1.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第二章 实验材料与装置 | 第26-34页 |
| 2.1 实验材料的属性 | 第26-29页 |
| 2.1.1 蓝宝石的晶体结构 | 第26-28页 |
| 2.1.2 液体的物理属性 | 第28-29页 |
| 2.2 实验装置及检测仪器 | 第29-31页 |
| 2.2.1 实验装置 | 第29-30页 |
| 2.2.2 样件参数及处理 | 第30页 |
| 2.2.3 检测仪器 | 第30-31页 |
| 2.3 实验研究方法 | 第31-33页 |
| 2.3.1 脉冲重复频率的选择 | 第31-32页 |
| 2.3.2 脉冲能量密度的的选择 | 第32页 |
| 2.3.3 扫描速度的选择 | 第32-33页 |
| 2.3.4 液膜厚度的选择 | 第33页 |
| 2.3.5 液体浓度的选择 | 第33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 激光诱导空泡动态特性的研究 | 第34-46页 |
| 3.1 观测方法与装置 | 第34-35页 |
| 3.2 空泡数值计算 | 第35-40页 |
| 3.2.1 空泡的脉动过程分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 动态特性理论分析 | 第37-40页 |
| 3.3 液膜厚度对空泡的影响 | 第40-42页 |
| 3.4 流场的观测 | 第42-43页 |
| 3.5 刻槽表面的表面微观结构 | 第43-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 激光诱导湿式背面刻蚀加工蓝宝石的机理研究 | 第46-58页 |
| 4.1 温度场分布 | 第46-50页 |
| 4.1.1 温度场的理论分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 一维温度场仿真 | 第47-50页 |
| 4.2 EDS分析 | 第50-53页 |
| 4.3 光化学反应 | 第53-55页 |
| 4.4 材料去除机理分析 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 激光背面湿式刻蚀加工蓝宝石的工艺规律研究 | 第58-68页 |
| 5.1 溶液浓度对刻槽的影响 | 第58-59页 |
| 5.2 脉冲能量对刻槽的影响 | 第59-60页 |
| 5.3 扫描速度对刻槽的影响 | 第60-63页 |
| 5.4 扫描次数对刻槽的影响 | 第63-65页 |
| 5.5 液膜厚度对对刻槽的影响 | 第65-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
