| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第9页 |
| 1.2 d_(31)与d_(33)模式压电俘能器的研究现状 | 第9-17页 |
| 1.2.1 d_(31)模式MEMS压电俘能器 | 第9-14页 |
| 1.2.2 d_(33)模式MEMS压电俘能器 | 第14-17页 |
| 1.3 不锈钢基与硅基的对比 | 第17-19页 |
| 1.3.1 不锈钢基与硅基的性能对比 | 第17-18页 |
| 1.3.2 不锈钢基于硅基俘能效果对比 | 第18-19页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第19-21页 |
| 2 压电俘能器基本理论与结构分析 | 第21-26页 |
| 2.1 压电效应与压电方程 | 第21-23页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第21页 |
| 2.1.2 压电方程 | 第21-23页 |
| 2.2 压电悬臂梁结构应力分析 | 第23-24页 |
| 2.3 压电材料及PZT膜的制备 | 第24-25页 |
| 2.3.1 压电材料种类 | 第24页 |
| 2.3.2 压电材料PZT膜的制备 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 不锈钢基压电俘能器模型分析与结构设计 | 第26-38页 |
| 3.1 压电俘能器的机电耦合模型分析 | 第26-28页 |
| 3.2 不锈钢基d_(31)模式压电俘能器模型分析 | 第28-33页 |
| 3.2.1 d_(31)模式压电膜厚分析 | 第29-31页 |
| 3.2.2 d_(31)模式质量块影响分析 | 第31-32页 |
| 3.2.3 d_(31)模式负载电阻影响分析 | 第32-33页 |
| 3.3 不锈钢基d_(33)模式压电俘能器模型分析 | 第33-37页 |
| 3.3.1 d_(33)模式电极宽度与电极间距分析 | 第34-36页 |
| 3.3.2 d_(33)模式压电俘能器材料厚度的功率分析 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 不锈钢基压电俘能器制作工艺 | 第38-56页 |
| 4.1 压电材料PZT厚膜制备工艺 | 第38-43页 |
| 4.1.1 压电材料PZT膜制备流程 | 第38-41页 |
| 4.1.2 压电材料PZT厚膜的退火与表征 | 第41-43页 |
| 4.2 不锈钢基d_(31)压电俘能器制作工艺 | 第43-46页 |
| 4.2.1 不锈钢基d_(31)模式俘能器的制作 | 第44-45页 |
| 4.2.2 不锈钢基d_(31)模式俘能器的极化 | 第45-46页 |
| 4.3 不锈钢基d_(33)模式压电俘能器制作工艺 | 第46-50页 |
| 4.3.1 不锈钢基d_(33)模式俘能器的制作 | 第46-49页 |
| 4.3.2 不锈钢基d_(33)模式俘能器的极化 | 第49-50页 |
| 4.4 d_(33)模式制作的关键工艺研究探索 | 第50-55页 |
| 4.4.1 SiO_2绝缘层及其d_(33)俘能器制作 | 第50-52页 |
| 4.4.2 柔性PET电路板铜电极的d_(33)俘能器制作 | 第52-53页 |
| 4.4.3 ZrO_2绝缘层制备 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 不锈钢基压电俘能器测试与分析 | 第56-63页 |
| 5.1 d_(31)模式压电俘能器测试与分析 | 第56-59页 |
| 5.2 d_(33)模式压电俘能器测试与分析 | 第59-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
