| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 加速度计研究进展 | 第12-13页 |
| 1.2.2 MEMS器件及加速度计温变性能研究进展 | 第13-16页 |
| 1.2.3 高分子材料本构模型及高分子材料仿真研究进展 | 第16-19页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 加速度计结构与性能影响因素 | 第20-28页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 加速度计的工作原理 | 第20-22页 |
| 2.3 加速度计现状 | 第22-23页 |
| 2.3.1 不稳定现象 | 第22页 |
| 2.3.2 不重复现象 | 第22-23页 |
| 2.4 加速度计的结构特性 | 第23-25页 |
| 2.5 加速度计的材料特性 | 第25-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 加速度计有限元仿真与结构优化 | 第28-45页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 有限元分析的基本思想与理论 | 第28-32页 |
| 3.3 加速度计的精确建模与仿真 | 第32-35页 |
| 3.3.1 加速度计的几何模型与材料参数 | 第32-33页 |
| 3.3.2 仿真流程与加速度计计算 | 第33-35页 |
| 3.4 加速度计不稳定与不重复仿真 | 第35-40页 |
| 3.5 加速度计结构优化 | 第40-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 加速度计不稳定现象机理分析 | 第45-63页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 高分子材料特性与加速度计温变特性的关系 | 第45-48页 |
| 4.3 高分子材料本构模型与有限元离散 | 第48-59页 |
| 4.3.1 本构方程的基本形式 | 第48-49页 |
| 4.3.2 时温等效与零时间 | 第49-51页 |
| 4.3.3 一维本构模型的有限元离散 | 第51-53页 |
| 4.3.4 三维本构模型的有限元离散 | 第53-59页 |
| 4.4 ABAQUS用户材料子程序UMAT实现技术 | 第59-61页 |
| 4.5 高分子材料仿真分析 | 第61-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间所发表的学术论文目录 | 第72-73页 |
| 附录B 攻读硕士学位期间所参加的科研项目 | 第73页 |
