| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 VCSELs概述 | 第10-16页 |
| 1.1.1 VCSELs的概念 | 第10-13页 |
| 1.1.2 VCSELs的优势 | 第13-15页 |
| 1.1.3 VCSELs的研究方向及应用 | 第15-16页 |
| 1.2 太赫兹概述 | 第16-21页 |
| 1.2.1 太赫兹的研究意义 | 第16-19页 |
| 1.2.2 太赫兹的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.3 双波长VCSEL的发展与应用 | 第21-24页 |
| 1.4 本论文的研究工作 | 第24-25页 |
| 1.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第2章 VCSELs基本理论 | 第26-54页 |
| 2.1 VCSELs基本结构和工作原理 | 第26-29页 |
| 2.1.1 VCSELs基本结构 | 第26-28页 |
| 2.1.2 VCSELs工作原理 | 第28-29页 |
| 2.2 VCSELs反射镜 | 第29-32页 |
| 2.2.1 DBR的工作原理 | 第30-32页 |
| 2.2.2 周期对数对DBR的影响 | 第32页 |
| 2.3 VCSELs特性参数 | 第32-34页 |
| 2.4 VCSELs腔长与纵模、频率的关系 | 第34-51页 |
| 2.4.1 IQE980nmVCSEL结构以及后续模拟方案说明 | 第34-37页 |
| 2.4.2 在IQE980nmVCSEL结构不同位置加入插入层的模拟结果 | 第37-48页 |
| 2.4.3 模拟结果的分析和总结 | 第48-51页 |
| 2.5 VCSELs中载流子浓度的分布特性 | 第51-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 具有插入层的双波长VCSEL器件制备 | 第54-64页 |
| 3.1 工艺流程 | 第55-59页 |
| 3.2 器件制备过程中的关键工艺 | 第59-62页 |
| 3.2.1 选择性湿法腐蚀 | 第59-60页 |
| 3.2.2 湿氮氧化 | 第60-62页 |
| 3.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 测试结果及其分析 | 第64-70页 |
| 4.1 不同氧化孔径器件的P-I-V特性 | 第65-67页 |
| 4.2 光谱测试分析 | 第67-68页 |
| 4.3 近场测试分析 | 第68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |