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半导体设备和材料变动性系统的设计与实现

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 引言第8-13页
   ·项目研究背景和意义第8页
   ·国内外研究现状和工厂物理学(Factory Physics)简介第8-11页
   ·课题研究的意义及工厂现状第11-13页
第二章 理论分析和计算方法第13-22页
   ·基本理论第13-22页
     ·基本定义第13页
     ·参数和基本理论第13-15页
     ·生产流程示意图和基本数据参数第15-17页
     ·计算方法第17-19页
     ·实验装置和测试方法第19-22页
第三章 需求分析第22-32页
   ·系统需求分析第22-24页
   ·用例分析第24-29页
   ·功能需求分析第29-32页
第四章 系统设计第32-53页
   ·关联系统- 设备性能自动跟踪系统第32-34页
     ·系统构架第32-33页
     ·数据接口第33-34页
   ·系统概要设计第34-35页
   ·系统架构第35-36页
   ·系统详细设计第36-53页
     ·生产应用报表系统第36-38页
       ·系统架构第37-38页
       ·数据接口第38页
     ·系统模块交互元素据第38-43页
     ·数据库存取模块第43页
     ·数据提取与分析模块第43-44页
     ·用户配置管理模块第44页
     ·任务管理模块第44-45页
     ·数据展现模块第45-47页
     ·邮件系统与工作流管理模块第47-49页
     ·生产应用报表系统数据库设计第49-53页
第五章. 目标变动性的提高第53-61页
   ·高精度设备维修保养,消除浪费和优化设备维修保养第53-61页
     ·优化设备维修保养频率第53-56页
     ·精艺生产中的消除浪费第56页
     ·高精度设备维修保养第56-59页
     ·提高关键站点的兼容性第59-61页
第六章. 测试和实验结果的分析讨论第61-65页
   ·系统应用测试第61-63页
     ·设定数据查看模式第61页
     ·设定数据展示(四象图)第61-62页
     ·设定数据展示(变动性系数 CV)第62-63页
   ·系统数据处理误差第63页
   ·生产绩效第63-65页
     ·设备利用率的变动性即变异系数(CV)第63-64页
     ·生产周期(Cycle Time)第64-65页
第七章. 总结与展望第65-67页
   ·总结第65页
   ·展望第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-70页

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