| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 简介 | 第10-25页 |
| 1.1 垂直腔面发射激光器综述 | 第11-16页 |
| 1.1.1 垂直腔面发射激光器的前提 | 第11-13页 |
| 1.1.2 垂直腔面发射激光器器件结构与基本特性 | 第13-16页 |
| 1.2 垂直腔面发射激光器的研究与应用 | 第16-23页 |
| 1.2.1 垂直腔面发射激光器研究历程 | 第16-18页 |
| 1.2.2 垂直腔面发射激光器研究现状与进展 | 第18-20页 |
| 1.2.3 红外激光器 | 第20-22页 |
| 1.2.4 垂直腔面发射激光器应用与发展前景 | 第22-23页 |
| 1.3 大功率高质量光束面发射激光器研究背景及意义 | 第23-25页 |
| 1.3.1 大功率高光束质量 VCSEL 的研究背景 | 第23页 |
| 1.3.2 大功率高光束质量 VCSEL 的研究意义 | 第23-25页 |
| 第2章 垂直腔面发射激光器的基本理论 | 第25-35页 |
| 2.1. 垂直腔面发射激光器基本工作原理 | 第25-29页 |
| 2.2 量子阱 VCSEL 的简单模型 | 第29-30页 |
| 2.3 阈值电流、输出功率、微分量子效率 | 第30-35页 |
| 第3章 VCSEL 制备工艺的研究 | 第35-51页 |
| 3.1 VCSEL 制备工艺 | 第35-38页 |
| 3.2 湿法氧化工艺与优化 | 第38-41页 |
| 3.3 湿法氧化的垂直吸收 | 第41-48页 |
| 3.4 湿法氧化过程重量损失 | 第48-51页 |
| 第4章 总结与展望 | 第51-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 指导教师及作者简介 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
