| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 MOS气敏传感器概述及气敏机理 | 第9-12页 |
| 1.2 LaFeO_3、SnO_2气敏研究的现状 | 第12-14页 |
| 1.3 MOS的敏化方法 | 第14-17页 |
| 1.4 本课题的目的、意义及主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验过程 | 第19-28页 |
| 2.1 实验技术路线及方案 | 第19页 |
| 2.2 实验设备及试剂 | 第19-20页 |
| 2.3 LaFeO_3及SnO_2气敏材料的制备及表征 | 第20-22页 |
| 2.4 基于LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料器件的制备及气敏性能测试 | 第22-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 材料表征结果及讨论 | 第28-36页 |
| 3.1 LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料的结构和形貌表征 | 第28-32页 |
| 3.2 LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料的XPS分析 | 第32-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料对CO2气敏特性 | 第36-42页 |
| 4.1 LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料对CO2的气敏响应 | 第36-38页 |
| 4.2 气敏响应测试机理分析 | 第38-41页 |
| 4.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 成分、温度、气氛对LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料导电特征的影响 | 第42-51页 |
| 5.1 成分对LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料导电特征的影响 | 第42-44页 |
| 5.2 温度对LaFeO_3/SnO_2纳米复合材料导电特征的影响 | 第44-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第51-54页 |
| 6.1 全文总结 | 第51-52页 |
| 6.2 展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录 攻读硕士期间发表的论文 | 第60页 |
