变幅杆式压电作动器及微滑台驱动研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 本文研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 超声电机概述 | 第9-11页 |
| 1.2.1 超声电机的定义 | 第9页 |
| 1.2.2 超声电机的特点 | 第9-10页 |
| 1.2.3 超声电机的分类 | 第10-11页 |
| 1.3 超声电机国内外发展现状 | 第11-13页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第13-16页 |
| 第二章 变幅杆式压电作动器设计与分析 | 第16-36页 |
| 2.1 作动器的运行理论分析 | 第16-20页 |
| 2.1.1 作动器弹性体振子的一阶弯振 | 第16-19页 |
| 2.1.2 作动器定子端部表面驱动点的振动轨迹 | 第19-20页 |
| 2.2 作动器的结构设计 | 第20-31页 |
| 2.2.1 作动器的变幅杆设计 | 第20-26页 |
| 2.2.2 作动器弹性基体的设计 | 第26-29页 |
| 2.2.3 作动器定子螺纹副设计 | 第29-31页 |
| 2.3 作动器定子结构的有限元分析 | 第31-34页 |
| 2.3.1 定子结构有限元模型建立 | 第31-32页 |
| 2.3.2 定子结构的模态分析 | 第32-33页 |
| 2.3.3 定子结构的谐响应分析 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 变幅杆式压电作动器实验研究 | 第36-48页 |
| 3.1 作动器样机的制作 | 第36页 |
| 3.2 作动器驱动电路集成平台的搭建 | 第36-39页 |
| 3.2.1 基于FPGA的作动器驱动器设计 | 第37-38页 |
| 3.2.2 驱动电路闭环控制系统设计 | 第38-39页 |
| 3.3 作动器输出性能相关性实验研究 | 第39-46页 |
| 3.3.1 作动器速度的频率特性 | 第41-43页 |
| 3.3.2 作动器速度的相位差特性 | 第43页 |
| 3.3.3 作动器速度的电压特性 | 第43-45页 |
| 3.3.4 作动器机械特性 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 作动器在微滑台中的应用研究 | 第48-62页 |
| 4.1 微机床现状概述 | 第48-50页 |
| 4.2 微滑台静动特性分析 | 第50-57页 |
| 4.2.1 微滑台的设计 | 第50页 |
| 4.2.2 微滑台静态特性分析 | 第50-54页 |
| 4.2.3 微滑台动态特性分析 | 第54-57页 |
| 4.3 微滑台机械性能实验研究 | 第57-61页 |
| 4.3.1 微滑台直线推力测试 | 第58-59页 |
| 4.3.2 微滑台侧向力测试 | 第59-60页 |
| 4.3.3 微滑台铅垂负载力测试 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录及其他情况 | 第70页 |
