晶圆制造中交货率提升的方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-10页 |
| 1.1 研究的背景 | 第6-7页 |
| 1.2 研究的目的及意义 | 第7页 |
| 1.3 主要研究方法和研究路线 | 第7-9页 |
| 1.4 主要内容及章节安排 | 第9-10页 |
| 第二章 半导体晶圆制造系统 | 第10-23页 |
| 2.1 晶圆制造系统优化的研究进展 | 第10-13页 |
| 2.1.1 建模技术 | 第10-11页 |
| 2.1.2 优化算法 | 第11-12页 |
| 2.1.3 瓶颈识别 | 第12-13页 |
| 2.2 晶圆制造系统优化的理论支持 | 第13-17页 |
| 2.2.1 分解理论 | 第13-14页 |
| 2.2.2 约束理论 | 第14-15页 |
| 2.2.3 鱼骨图 | 第15-17页 |
| 2.3 晶圆制造系统工艺流程及生产特点 | 第17-23页 |
| 2.3.1 工艺流程 | 第17-21页 |
| 2.3.2 生产特点 | 第21-23页 |
| 第三章 B公司晶圆制造系统现状分析 | 第23-31页 |
| 3.1 B公司简介 | 第23页 |
| 3.2 B公司晶圆制造的主要衡量指标 | 第23-26页 |
| 3.2.1 准时交货率指标 | 第23-24页 |
| 3.2.2 产能利用率指标 | 第24-25页 |
| 3.2.3 生产周期指标 | 第25-26页 |
| 3.3 B公司晶圆制造中的问题分析 | 第26-31页 |
| 3.3.1 在制品 | 第26-27页 |
| 3.3.2 生产周期 | 第27-28页 |
| 3.3.3 关键设备综合效率 | 第28-29页 |
| 3.3.4 按时交货率 | 第29-31页 |
| 第四章 B公司按时交货率提升项目 | 第31-64页 |
| 4.1 目标和团队的确立 | 第31-32页 |
| 4.1.1 确定项目目标 | 第31页 |
| 4.1.2 组织结构和成员的选择 | 第31-32页 |
| 4.2 项目计划的制定 | 第32-33页 |
| 4.3 建立Fab产能模型 | 第33-49页 |
| 4.3.1 Fab产能模型基础数据准备 | 第33-45页 |
| 4.3.2 Fab产能模型算法的建立 | 第45-48页 |
| 4.3.3 B公司Fab产能计算结果 | 第48-49页 |
| 4.4 瓶颈设备组的产能提升 | 第49-57页 |
| 4.4.1 蒸发台产能提升项目 | 第49-53页 |
| 4.4.2 溅射机产能提升项目 | 第53-57页 |
| 4.5 调度策略的优化 | 第57-62页 |
| 4.5.1 常用调度策略简介 | 第57-58页 |
| 4.5.2 非瓶颈调度策略的研究 | 第58-60页 |
| 4.5.3 瓶颈调度策略的研究 | 第60-61页 |
| 4.5.4 产品结构变化的研究 | 第61-62页 |
| 4.6 项目总结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结和展望 | 第64-67页 |
| 5.1 论文主要结论 | 第64-65页 |
| 5.2 进一步的研究展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
