MEMS万向惯性开关制作工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 MEMS惯性开关综述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 MEMS惯性开关的工作原理 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS惯性开关的分类 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS惯性开关制作方法的国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第16-17页 |
| 2. MEMS金属惯性开关制作的基础工艺技术 | 第17-32页 |
| 2.1 LIGA技术 | 第17-20页 |
| 2.2 UV-LIGA技术 | 第20-24页 |
| 2.3 微电铸工艺 | 第24-27页 |
| 2.4 牺牲层技术 | 第27-28页 |
| 2.5 牺牲层材料的选择 | 第28-29页 |
| 2.6 叠层光刻胶工艺 | 第29-30页 |
| 2.7 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 MEMS万向惯性开关的制作 | 第32-47页 |
| 3.1 制作流程 | 第32-39页 |
| 3.2 工艺问题分析 | 第39-46页 |
| 3.2.1 层间结合力问题 | 第39-40页 |
| 3.2.2 多层之间对板问题 | 第40-41页 |
| 3.2.3 铸层内应力问题 | 第41-42页 |
| 3.2.4 高深宽比胶模制作 | 第42-44页 |
| 3.2.5 去胶问题 | 第44-45页 |
| 3.2.6 尺寸补偿问题 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 MEMS万向惯性开关的封装及测试 | 第47-54页 |
| 4.1 MEMS万向惯性开关的封装 | 第47-48页 |
| 4.2 MEMS万向惯性开关的测试 | 第48-54页 |
| 4.2.1 结构参数测试 | 第49-50页 |
| 4.2.2 动态参数测试 | 第50-54页 |
| 总结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
