| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 固体润滑材料简介 | 第11-16页 |
| 1.1.1 固体润滑材料的定义、分类及应用 | 第11-12页 |
| 1.1.2 固体润滑薄膜/涂层的沉积技术及生长机理 | 第12-14页 |
| 1.1.3 固体润滑薄膜材料测试表征 | 第14-16页 |
| 1.2 类金刚石碳（DLC）基薄膜的研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 DLC薄膜的结构、性能及应用 | 第16-17页 |
| 1.2.2 掺杂及纳米复合DLC薄膜及其研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.3 梯度及纳米多层DLC薄膜及其研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 过渡族金属二硫化物薄膜的研究现状 | 第20-23页 |
| 1.3.1 MoS_2薄膜的结构、性能与应用 | 第20-22页 |
| 1.3.2 掺杂及纳米复合MoS_2薄膜及其研究现状 | 第22页 |
| 1.3.3 纳米多层MoS_2基薄膜及其研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4 选题依据与研究内容 | 第23-26页 |
| 1.4.1 选题依据 | 第23-24页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 MoS_2基薄膜的制备与表征方法 | 第26-31页 |
| 2.1 实验材料 | 第26页 |
| 2.2 薄膜结构设计与制备 | 第26-28页 |
| 2.3 薄膜结构与性能表征 | 第28-31页 |
| 第三章 不同调制周期MoS_2/DLC多层薄膜结构设计及其摩擦学性能研究 | 第31-43页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 实验部分 | 第31-33页 |
| 3.2.1 MoS_2/DLC多层薄膜制备 | 第31-33页 |
| 3.2.2 MoS_2/DLC多层薄膜结构与性能表征 | 第33页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第33-42页 |
| 3.3.1 MoS_2/DLC多层薄膜的结构与组成 | 第33-35页 |
| 3.3.2 MoS_2/DLC多层薄膜的结构形貌 | 第35-37页 |
| 3.3.3 MoS_2/DLC多层薄膜的力学性能 | 第37-39页 |
| 3.3.4 MoS_2/DLC多层薄膜在大气环境下的摩擦学性能 | 第39-42页 |
| 3.4 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 周期性MoS_2/MSN多层薄膜结构设计及其摩擦学性能研究 | 第43-62页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 调制比对MoS_2/MSN多层膜结构、力学及摩擦学性能的影响 | 第44-54页 |
| 4.2.1 实验部分 | 第44-45页 |
| 4.2.2 结果与讨论 | 第45-53页 |
| 4.2.3 小结 | 第53-54页 |
| 4.3 调制周期对MoS_2/MSN多层薄膜结构、力学及摩擦学性能的影响 | 第54-62页 |
| 4.3.1 实验部分 | 第54-55页 |
| 4.3.2 结果与讨论 | 第55-61页 |
| 4.3.3 小结 | 第61-62页 |
| 第五章 不同氮气流量MoS_2/MSN多层薄膜结构设计及其摩擦学性能研究 | 第62-88页 |
| 5.1 引言 | 第62-63页 |
| 5.2 氮气流量对MoS_2/MSN多层薄膜结构、力学及摩擦学性能的影响 | 第63-77页 |
| 5.2.1 实验部分 | 第63-64页 |
| 5.2.2 结果与讨论 | 第64-75页 |
| 5.2.3 小结 | 第75-77页 |
| 5.3 调制周期对MoS_2/MSN多层薄膜结构、力学及摩擦学性能的影响 | 第77-88页 |
| 5.3.1 实验部分 | 第77-78页 |
| 5.3.2 结果与讨论 | 第78-87页 |
| 5.3.3 小结 | 第87-88页 |
| 结论 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第101页 |
