| 摘要 | 第3-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 符号说明 | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 CVD金刚石简介 | 第16-18页 |
| 1.2 CVD金刚石涂层硬质合金刀具 | 第18-20页 |
| 1.3 CVD金刚石涂层硬质合金刀具存在的问题及解决办法 | 第20-22页 |
| 1.4 过渡层的选择及制备方法 | 第22-25页 |
| 1.5 DGPSA技术在过渡层制备上的应用 | 第25-28页 |
| 1.6 本课题的提出及主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 实验方案及检测方法 | 第30-38页 |
| 2.1 实验方案 | 第30-31页 |
| 2.2 实验材料 | 第31-32页 |
| 2.3 实验装置 | 第32-34页 |
| 2.4 表征方法及性能测试 | 第34-38页 |
| 2.4.1 表征方法 | 第34-35页 |
| 2.4.2 性能测试 | 第35-38页 |
| 第三章 双辉等离子表面冶金法SiC涂层制备研究 | 第38-74页 |
| 3.1 DGPSA制备SiC的可行性分析 | 第38-40页 |
| 3.2 现有DGPSA装置制备SiC涂层存在的问题 | 第40-44页 |
| 3.3 DGPSA装置中气体流场的模拟 | 第44-52页 |
| 3.4 DGPSA装置中气体进出气方式设计及模拟优化 | 第52-61页 |
| 3.4.1 气体由保温罩上部进入 | 第52-55页 |
| 3.4.2 气体由保温罩侧面进入 | 第55-61页 |
| 3.5 改进后DGPSA装置的涂层制备实验 | 第61-72页 |
| 3.5.1 不同TMS流量条件下SiC的制备研究 | 第61-66页 |
| 3.5.2 不同基体温度条件下SiC的制备研究 | 第66-72页 |
| 3.6 本章小结 | 第72-74页 |
| 第四章 SiC/HfC双层过渡层制备及对金刚石涂层结合强度的影响 | 第74-114页 |
| 4.1 SiC/HfC双层过渡层制备的实验方案 | 第74-75页 |
| 4.2 基体温度对SiC/HfC双层过渡层的影响 | 第75-91页 |
| 4.2.1 过渡层的物相分析 | 第75-78页 |
| 4.2.2 SiC/HfC双层过渡层表面形貌 | 第78-81页 |
| 4.2.3 SiC/HfC双层过渡层截面形貌 | 第81-84页 |
| 4.2.4 SiC/HfC双层过渡层中的元素分布 | 第84-86页 |
| 4.2.5 SiC/HfC双层过渡层的显微硬度 | 第86-87页 |
| 4.2.6 SiC/HfC双层过渡层与基体间的结合强度 | 第87-91页 |
| 4.3 TMS流量对SiC/HfC双层过渡层的影响 | 第91-105页 |
| 4.3.1 过渡层的物相分析 | 第91-93页 |
| 4.3.2 SiC/HfC双层过渡层的表面形貌 | 第93-96页 |
| 4.3.3 SiC/HfC双层过渡层的截面形貌 | 第96-99页 |
| 4.3.4 SiC/HfC双层过渡层中的元素分布 | 第99-101页 |
| 4.3.5 SiC/HfC双层过渡层的显微硬度 | 第101-102页 |
| 4.3.6 SiC/HfC双层过渡层与基体间的结合强度 | 第102-105页 |
| 4.4 SiC/HfC双层过渡层表面金刚石涂层的沉积 | 第105-111页 |
| 4.4.1 实验参数 | 第105-106页 |
| 4.4.2 金刚石涂层的物相分析 | 第106-107页 |
| 4.4.3 金刚石涂层的表面形貌及拉曼光谱 | 第107-108页 |
| 4.4.4 金刚石涂层的截面形貌及元素分布 | 第108-109页 |
| 4.4.5 金刚石涂层的结合强度 | 第109-111页 |
| 4.5 本章小结 | 第111-114页 |
| 第五章 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层制备及其对金刚石涂层结合强度的影响 | 第114-140页 |
| 5.1 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层的制备 | 第114-128页 |
| 5.1.1 过渡层的物相分析 | 第115-117页 |
| 5.1.2 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层的表面形貌 | 第117-121页 |
| 5.1.3 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层的截面形貌 | 第121-123页 |
| 5.1.4 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层中的元素分布 | 第123-125页 |
| 5.1.5 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层的显微硬度 | 第125-126页 |
| 5.1.6 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层与基体间的结合强度 | 第126-128页 |
| 5.2 HfC-SiC/HfC双层梯度过渡层表面金刚石涂层的制备 | 第128-132页 |
| 5.2.1 物相分析 | 第129-130页 |
| 5.2.2 金刚石涂层的表面形貌及拉曼光谱 | 第130-131页 |
| 5.2.3 金刚石涂层的截面形貌及元素分布 | 第131页 |
| 5.2.4 金刚石涂层的结合强度 | 第131-132页 |
| 5.3 金刚石涂层结合强度增强机制分析 | 第132-139页 |
| 5.4 本章小结 | 第139-140页 |
| 第六章 结论和展望 | 第140-144页 |
| 6.1 结论 | 第140-142页 |
| 6.2 展望 | 第142-144页 |
| 参考文献 | 第144-156页 |
| 致谢 | 第156-158页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文和发明专利 | 第158-160页 |
| 一、发表及录用的学术论文 | 第158页 |
| 二、发明专利 | 第158-160页 |
| 博士学位论文独创性说明 | 第160页 |
